检测项目

1.基体元素分析：硅含量测定，锗含量测定，镓含量测定，砷含量测定，碳含量测定。

2.掺杂元素分析：硼含量测定，磷含量测定，砷掺杂量测定，锑含量测定，铟含量测定。

3.金属杂质分析：铁含量测定，铜含量测定，镍含量测定，铬含量测定，铝含量测定。

4.非金属杂质分析：氧含量测定，氮含量测定，氯残留测定，氟残留测定，硫含量测定。

5.痕量元素分析：钠含量测定，钾含量测定，钙含量测定，镁含量测定，锌含量测定。

6.表面污染物分析：离子污染物测定，有机残留物测定，颗粒附着物分析，表面金属沾污分析，清洗残留物分析。

7.薄膜成分分析：氧化层成分分析，氮化层成分分析，金属薄膜成分分析，介质层成分分析，复合膜层组成分析。

8.封装材料成分分析：塑封料组成分析，引线框架材质分析，焊料成分分析，键合材料成分分析，底部填充材料分析。

9.有机材料组分分析：光刻胶成分分析，显影残留物分析，助焊材料组分分析，粘结剂成分分析，溶剂残留分析。

10.界面物质分析：界面氧化物分析，扩散层成分分析，反应产物分析，腐蚀产物分析，沉积物成分分析。

11.失效相关成分分析：异常沉积物分析，烧蚀残留物分析，裂纹区域污染物分析，电迁移产物分析，漏电相关杂质分析。

12.材料纯度分析：主成分纯度测定，杂质总量评估，微量污染物筛查，批次成分一致性分析，来料成分符合性分析。

检测范围

硅晶圆、外延片、芯片裸片、集成电路、功率器件、分立器件、存储器芯片、传感器芯片、发光芯片、射频芯片、封装体、塑封料、引线框架、焊球、焊线、键合材料、底部填充材料、光刻胶、电子特气残留物、清洗后表面残留物

检测设备

1.电感耦合等离子体发射光谱仪：用于测定半导体材料中多种金属元素和部分非金属元素含量，适合常量与微量成分分析。

2.电感耦合等离子体质谱仪：用于痕量和超痕量元素检测，可识别多种杂质元素，适用于高纯材料成分筛查。

3.射线光电子能谱仪：用于分析材料表面元素组成及化学状态，适合薄膜、界面层和表面污染物研究。

4.二次离子质谱仪：用于表层及深度方向成分分析，可检测掺杂元素分布、杂质分布和界面元素变化。

5.射线荧光光谱仪：用于固体样品中元素组成的快速筛查，适合封装材料、金属部件和薄膜样品分析。

6.傅里叶变换红外光谱仪：用于有机材料官能团识别和残留物分析，适合光刻胶、粘结剂及有机污染物测试。

7.拉曼光谱仪：用于表征材料分子结构和晶体特征，可辅助分析硅基材料、薄膜结构和异常沉积物。

8.扫描电子显微镜：用于观察样品表面形貌与微区特征，可配合微区成分分析开展颗粒物和失效部位研究。

9.气相色谱质谱联用仪：用于挥发性和半挥发性有机组分分离与鉴别，适合溶剂残留、清洗残留和有机污染物分析。

10.离子色谱仪：用于测定表面残留中的阴阳离子成分，适合离子污染物和清洗后残留物检测。