检测项目

1.电学特性检测：击穿电压，漏电流，阈值电压，导通电阻，跨导，载流子迁移率。

2.结构尺寸与形貌检测：关键尺寸量测，薄膜厚度，台阶高度，侧壁角度，表面粗糙度，套刻精度。

3.材料成分与缺陷分析：元素成分分析，掺杂浓度分布，晶体缺陷观测，杂质含量测定，界面特性分析。

4.薄膜特性检测：折射率与消光系数，薄膜应力，密度与孔隙率，介电常数，击穿场强。

5.可靠性评估：高温工作寿命，高温高湿偏压，温度循环，热冲击，电迁移测试，负偏压温度不稳定性。

6.表面污染物分析：颗粒污染计数，有机污染物分析，金属污染物检测，离子残留量测定。

7.光学特性检测：发光效率，光谱响应，缺陷发光分析，荧光寿命。

8.热特性检测：热导率，热阻，结温测量，热膨胀系数。

9.机械特性检测：硬度，杨氏模量，断裂韧性，粘附强度，残余应力。

10.封装相关检测：焊点剪切强度，引线键合拉力，密封性，潮湿敏感等级，导热性能。

11.失效分析：缺陷定位，剖面分析，成分异常点鉴定，短路/断路原因分析。

检测范围

硅抛光片、外延片、锗片、化合物半导体衬底、光刻胶涂层晶圆、介质薄膜晶圆、金属化层晶圆、集成电路芯片、分立器件芯片、功率器件芯片、微机电系统器件、发光二极管芯片、光电探测器芯片、封装用焊球、引线框架、陶瓷封装体、塑料封装体、晶圆级封装器件、系统级封装模块

检测设备

1.半导体参数分析仪：用于精确测量晶体管及其他半导体器件的电流-电压特性曲线与关键电学参数；具备高精度源与测量单元。

2.扫描电子显微镜：用于高分辨率观测样品表面与剖面的微观形貌及结构尺寸；通常配备能谱仪用于元素成分分析。

3.原子力显微镜：用于表征样品表面纳米级的三维形貌、粗糙度及力学性能；接触式与非接触式等多种模式。

4.二次离子质谱仪：用于深度剖析薄膜中的元素成分及其浓度随深度的分布情况；具有极高的元素检测灵敏度。

5.傅里叶变换红外光谱仪：用于分析材料化学结构、鉴定有机污染物及测定薄膜厚度等；基于分子对红外光的特征吸收。

6.椭偏仪：用于非接触、无损测量薄膜的厚度、折射率、消光系数等光学常数；适用于透明与半透明薄膜。

7.热重-差热同步分析仪：用于研究材料在程序控温下的质量变化与热效应，分析其热稳定性、分解过程及相变行为。

8.聚焦离子束系统：用于在特定位置对器件进行纳米级的精密切割、加工以制备剖面样品，或进行电路修补。

9.自动晶圆探针台：用于在晶圆级别对大量芯片进行自动化、高效率的电学特性测试与功能验证；可集成多种测量仪器。

10.高加速寿命试验系统：通过施加高温、高湿、高电压等综合应力，在短时间内评估半导体器件的长期可靠性水平。