检测项目
1.晶体结构分析:晶系判定,晶型识别,晶胞参数估算。
2.物相组成分析:主相识别,次相检出,混合相区分。
3.晶面间距测定:衍射环测量,晶面指数标定,间距变化分析。
4.晶体取向分析:晶带轴判定,取向关系分析,织构特征识别。
5.结晶度与有序度评价:结晶区域判别,非晶区域识别,有序程度评估。
6.晶粒与亚结构分析:晶粒尺寸估计,亚晶边界识别,畴结构观察。
7.缺陷结构表征:位错特征观察,层错分析,孪晶识别。
8.析出相与第二相分析:析出相识别,弥散相观察,相界分布分析。
9.界面结构分析:晶界结构观察,相界关系判定,层间结合特征分析。
10.薄膜与涂层分析:薄膜择优取向评价,涂层结晶性判定,多层结构衍射特征分析。
11.纳米材料分析:纳米颗粒晶体类型识别,粒径相关衍射特征分析,团聚区结构判别。
12.失效微区分析:异常相识别,热影响区结构变化分析,断裂源附近晶体特征分析。
13.晶格畸变分析:晶格弯曲判别,局部应变评估,畸变区域定位。
检测范围
金属箔材、合金薄片、焊点截面、半导体晶片、外延层薄片、多晶薄膜、陶瓷粉体、催化剂颗粒、电池正极材料、电池负极材料、磁性薄膜、功能涂层、矿物微粒、纳米颗粒、碳基材料、复合界面薄片
检测设备
1.透射电子显微镜:用于获取样品微区衍射花样和形貌信息,分析晶体结构、物相组成及缺陷特征。
2.扫描透射电子显微镜:用于纳米尺度局部区域成像与衍射测试,进行细小颗粒和界面结构表征。
3.选区电子衍射装置:用于限定测试区域并采集局部衍射花样,支持微区晶体分析。
4.会聚束电子衍射装置:用于高空间分辨条件下的晶体对称性、取向及局部结构判定。
5.电子背散射衍射系统:用于表征块体样品表层晶粒取向、晶界特征和织构分布。
6.离子减薄仪:用于对样品进行精细减薄和末端抛光,制备适合电子穿透的薄区。
7.精密切割机:用于截取目标区域并控制热影响与机械损伤,便于后续制样处理。
8.研磨抛光机:用于样品表面平整化处理,提高截面样品和块体样品的制样质量。
9.超薄切片机:用于软质材料或复合材料制备超薄切片,满足电子衍射观察要求。
10.图像与衍射分析系统:用于衍射斑点测量、晶面间距计算、区轴标定和物相辅助判别。