检测项目

1.表面形貌检测：磨痕形貌，划伤深度，表面粗糙度，边缘崩裂，微裂纹分布。

2.磨损尺寸检测：磨损宽度，磨损深度，磨损面积，体积损失，局部减薄量。

3.材料成分检测：表层成分变化，磨屑成分，污染残留，无机杂质分布，元素迁移情况。

4.涂层与薄膜检测：薄膜厚度，涂层完整性，剥离区域，磨穿位置，界面结合状态。

5.硬度与力学性能检测：显微硬度，局部弹性响应，抗划伤能力，接触损伤特征，脆性断裂倾向。

6.摩擦学性能检测：摩擦系数变化，磨损速率，接触稳定性，载荷响应，摩擦发热影响。

7.热损伤检测：热影响区，局部烧蚀，热裂纹，热氧化痕迹，热退化程度。

8.电接触磨损检测：接触点磨耗，导电界面损伤，金属迁移，接触电阻变化，电蚀痕迹。

9.封装界面磨损检测：焊点磨耗，键合区损伤，引线接触磨损，界面脱层，封装材料擦伤。

10.腐蚀耦合磨损检测：腐蚀坑，氧化层破坏，腐蚀产物附着，电化学损伤，环境介质作用痕迹。

11.疲劳磨损检测：循环接触损伤，表面剥落，疲劳裂纹扩展，重复载荷磨耗，寿命衰减特征。

12.失效机理分析：磨粒磨损，黏着磨损，疲劳磨损，腐蚀磨损，复合磨损机理判定。

检测范围

裸芯片、硅片、功率芯片、逻辑芯片、存储芯片、传感芯片、射频芯片、控制芯片、模拟芯片、混合信号芯片、封装芯片、倒装芯片、晶圆级封装样品、键合区域样品、焊点区域样品、引脚接触样品、散热界面样品、芯片表面薄膜样品

检测设备

1.光学显微镜：用于观察芯片表面磨痕、划伤、崩边及污染分布，适合进行宏观与微观形貌初步判定。

2.扫描电子显微镜：用于高倍率观察磨损形貌、裂纹扩展、剥离边界及磨屑特征，提升微区损伤识别能力。

3.能谱分析仪：用于分析磨损区域及附着物的元素组成，识别污染来源、材料迁移和局部成分异常。

4.三维形貌仪：用于测量磨痕深度、宽度、体积损失和表面起伏，支持磨损程度的定量评估。

5.表面粗糙度仪：用于检测磨损前后表面粗糙度变化，评估加工状态与磨耗对表面质量的影响。

6.显微硬度计：用于测定芯片局部区域硬度分布，分析材料软化、脆化及磨损敏感性变化。

7.摩擦磨损试验机：用于模拟接触载荷和相对运动条件，评估材料摩擦系数、磨损速率及耐磨表现。

8.轮廓测量仪：用于获取磨痕截面轮廓和局部减薄数据，支持磨损尺寸和损伤边界分析。

9.超声扫描仪：用于检测封装内部脱层、界面损伤和隐蔽缺陷，辅助判断磨损引发的内部结构变化。

10.热分析仪：用于评估磨损过程中材料热稳定性和热退化特征，分析温升对损伤演化的影响。