检测项目
1.机械强度:芯片剪切强度,焊点推力,划痕测试,抗压性能分析。
2.键合质量:引线拉力测试,球焊剪切力,键合界面稳定性评估,金属化层附着力。
3.封装结构:塑封料附着力,内部应力分布,封装体致密性,分层缺陷检测。
4.物理特性:材料弹性模量,泊松比,热膨胀系数,表面硬度分布。
5.环境应力:高低温冲击强度变化,恒定湿热物理稳定性,耐腐蚀性能。
6.疲劳特性:循环载荷结构完整性,焊点疲劳寿命评估,抗热疲劳能力。
7.界面性能:多层结构剥离强度,底部填料粘接力,涂层均匀性检测。
8.工艺缺陷:微裂纹分布,内部空洞率,夹杂物分析,断口形貌观察。
9.振动可靠性:抗振动性能测试,冲击载荷结构响应,机械稳固性评估。
10.表面完整性:微观形貌分析,粗糙度测量,表面损伤评估。
11.热力学分析:热应力诱发裂纹分析,高温下材料强度退化,热匹配性能。
12.尺寸稳定性:形位公差测量,应变分布检测,结构变形量分析。
检测范围
硅晶圆、集成电路芯片、功率半导体、分立器件、场效应管、发光二极管、微传感器、引线框架、陶瓷封装体、塑料封装材料、焊球、键合金属丝、倒装芯片、系统级封装模块、多芯片组件、存储器、微处理器、控制器、光电器件、功率模块
检测设备
1.推拉力测试机:用于测量键合点与焊点的机械强度;提供精确的破坏载荷数据。
2.扫描电子显微镜:观察微观结构及失效断口;分析材料的物理形貌特征。
3.超声波扫描显微镜:检测半导体封装内部的细微裂纹与分层;实现非破坏性深度成像。
4.纳米压痕仪:测定微区材料的硬度与弹性模量;分析薄膜材料的力学特性。
5.射线检测系统:透视封装内部的结构排布;识别焊点空洞与引线偏移。
6.热机械分析仪:测量材料随温度变化的尺寸稳定性;评估热应力对强度的影响。
7.原子级力显微镜:进行纳米尺度的表面形貌测量;分析原子级别的表面质量。
8.高低温冲击试验箱:模拟极端环境温度变化;评估结构在热循环下的耐受力。
9.振动试验系统:模拟运输与工作中的振动环境;测试结构的机械稳固性。
10.影像测量仪:对元器件进行高精度的几何尺寸测量;评估形位公差对强度的影响。