可送检的样品类型与对应检测项目
| 样品类型 | 典型应用场景 | 主要检测项目 | 常用方法 / 参考 |
|---|---|---|---|
| 电真空器件零件 | 行波管、磁控管、X射线管、真空开关管装配前零件、阴极组件、陶瓷封接件 | 零件残余释气速率、高温除气效果、总质损、释气成分 | ASTM E595 TML与JianCeM试验、四极质谱残气分析 |
| 真空灭弧室 | 中压真空断路器灭弧室触头合金、不锈钢屏蔽罩、波纹管组件 | 内部零件放气量、升压率、真空寿命评估 | 静态升压法、GB/T 18443系列-2010 |
| 真空腔体与镀膜设备 | 半导体及光学镀膜腔体、法兰、阀门、O型密封圈 | 腔体烘烤后放气速率、弹性体TML与JianCeM、残余气体成分 | ASTM E595、四极质谱残气分析 |
| 航天器材料与部组件 | 星用电缆、印制板三防涂层、结构胶粘剂、热控多层组件 | 总质损、可凝挥发物、污染沉积量、水汽回吸 | ASTM E595、ECSS-Q-ST-70-02C |
| 真空绝热深冷设备 | 液氧液氮低温储罐夹层、多层绝热屏、玻璃纤维芯材 | 夹层放气速率、真空维持能力、真空衰减速率 | GB/T 18443系列-2010升压率法 |
| 真空保温板与真空玻璃 | 建筑真空保温板芯材、真空玻璃支撑物与吸气剂 | 芯材放气量、吸气剂寿命余量、内压上升速率 | 升压率法、微量天平称重 |
检测项目
1. 总质损TML：样品125℃真空24小时试验后质量损失百分率，航天材料验收限值不大于1.00%
2. 可凝挥发物JianCeM：释出气体在25℃收集板上的冷凝沉积百分率，限值不大于0.10%
3. 释气速率：单位面积单位时间放气量，金属烘烤后可达10的负10次方帕立方米每平方米每秒量级，聚合物通常在10的负6至10的负8次方量级
4. 释气成分分析：四极质谱计测定质量数2、18、28、44等特征谱峰，判定水汽、氢气、一氧化碳、二氧化碳占比
5. 升压率与真空维持：关闭抽气后压升速率测试，漏气分量线性、放气分量递减，据此评估器件真空寿命
6. 烘烤除气效果：150至300℃烘烤前后放气率对比，优质不锈钢腔体降幅可达两至四个数量级
检测范围
1. 电真空器件：行波管、磁控管、X射线管、真空开关管零件与组件
2. 真空腔体材料：304、316L不锈钢腔体、电解抛光内壁、法兰密封面
3. 真空密封材料：氟橡胶FKM、全氟醚FFKM、硅橡胶VMQ、金属C型密封圈
4. 航天器材料：三防涂层、聚酰亚胺薄膜、结构胶粘剂、热控涂层与多层绝热组件
5. 绝热与保温材料：多层铝箔绝热屏、玻璃纤维芯材、气凝胶毡、吸气剂
检测方法
1. ASTM E595-15(2021) 真空环境材料总质损与可凝挥发物标准试验方法
2. ECSS-Q-ST-70-02C 航天材料真空热释气试验与污染评估方法
3. ASTM E1559-09(2022) 石英晶体微量天平测量材料释气污染特性标准方法
4. GB/T 3163-2007 真空技术 术语（放气速率与升压率定义体系）
5. GB/T 18443系列-2010 真空绝热深冷设备性能试验方法（漏率、升压率、真空维持）
6. ISO 3529-1:2019 真空技术 词汇
检测设备
1. 释气试验装置：样品室控温125℃±1℃，真空度优于7×10的负3次方帕，保持24小时
2. 微量天平：分辨率1微克，满足总质损与可凝挥发物称量需求
3. 四极质谱计：质量数范围1至200，分压检测限10的负11帕
4. 石英晶体微量天平：质量灵敏度约10的负9克每平方厘米，晶体频率10兆赫
5. B-A规电离真空计：测量范围10的负2至10的负9帕
6. 复合真空计：电容薄膜规与皮拉尼规组合，覆盖10的负3至10的5次方帕
7. 真空烘烤炉：室温至400℃，极限真空10的负4帕
8. 恒温恒湿箱：温度25℃、相对湿度50%，用于水汽回吸测定
9. 涡轮分子泵机组：极限真空10的负7帕，配前级旋片泵