ArF光刻胶测试

可送检的样品类型与对应检测项目

检测项目

1. 黏度：典型5~30mPa·s（25℃），剪切速率10~1000s⁻¹，剪切变稀指数≤1.5

2. 固含量：2~8%，同批测定偏差≤±0.2%

3. 金属离子：钠、钾、铁、钙、镁、锌等单个≤10ppb，总和≤100ppb

4. 颗粒物：≥0.2μm≤10个/mL，≥0.1μm≤100个/mL

5. 水分：≤500~1000ppm，卡尔费休库仑法测定

6. 分子量分布：树脂重均分子量8000~20000，分布系数≤1.8

7. 感光特性：透明剂量E0 8~30mJ/cm²，对比度γ≥3.0，分辨率干式≤65nm、浸没式≤38nm

检测范围

1. ArF干式光刻胶：90~130nm节点化学放大正性胶

2. ArF浸没式光刻胶：45~28nm节点，配套抗反射涂层体系

3. KrF化学放大光刻胶：130~250nm节点对比评价

4. 光刻胶用成膜树脂：聚羟基苯乙烯系、甲基丙烯酸酯系、降冰片烯系共聚物

5. 光酸产生剂：三苯基硫鎓盐、二苯基碘鎓盐、全氟磺酸盐系

6. 配套高纯溶剂：丙二醇甲醚醋酸酯、乳酸乙酯、丙二醇甲醚等电子级溶剂

检测方法

1. GB/T 43793.1-2024 平板显示用彩色光刻胶测试方法 第1部分：理化性能

2. GB/T 21059-2007 塑料 液态或乳液态或分散体系聚合物/树脂 用旋转黏度计在规定剪切速率下黏度的测定

3. GB/T 39486-2020 化学试剂 电感耦合等离子体质谱分析方法通则

4. GB/T 29024.3-2025 粒度分析 单颗粒的光学测量方法 第3部分：光阻法液体颗粒计数器

5. GB/T 36214.1-2018 塑料 体积排除色谱法测定聚合物的平均分子量和分子量分布 第1部分：通则

6. GB/T 6283-2008 化工产品中水分含量的测定 卡尔.费休法（通用方法）

7. GB/T 19466.2-2025 塑料 差示扫描量热（DSC）法 第2部分：玻璃化转变温度和台阶高度的测定

8. GB/T 19077-2024 粒度分析 激光衍射法

9. GB/T 9722-2023 化学试剂 气相色谱法通则

检测设备

1. 旋转流变仪（锥板测量系统）：扭矩分辨率0.01μN·m，温控±0.1℃，剪切速率0.01~3000s⁻¹

2. 电感耦合等离子体质谱仪（碰撞反应池型）：检出限达ppt级，覆盖钠、钾、铁、钙、镁、锌等70余种元素

3. 液体颗粒计数器（光阻法）：粒径通道0.05~100μm，计数流量10~60mL/min

4. 凝胶渗透色谱仪：四氢呋喃淋洗体系，分子量范围500~1000000g/mol，示差与光散射双检测器

5. 卡尔费休水分仪（库仑法）：水分量程10μg~100mg，分辨率0.1μg

6. 差示扫描量热仪：温度范围-90~600℃，灵敏度0.1μW，升温速率0.1~100℃/min

7. 高效液相色谱仪（二极管阵列检测器）：波长190~800nm，流量0.001~10mL/min

8. 气相色谱质谱联用仪：残留溶剂检出限0.1~1ppm，氢火焰与质谱双通道

9. 激光衍射粒度仪：测量范围0.01~3500μm，干湿法两用

10. 椭圆偏振测厚仪：膜厚测量范围0.1nm~10μm，精度±0.1nm