1.表面形貌分析:扫描电镜(SEM)下测量粗糙度Ra(0.1-100μm)、台阶高度(10nm-10μm)
2.晶粒尺寸测定:金相显微镜配合ImageJ软件统计平均晶粒尺寸(1-500μm),符合ASTME112标准
3.薄膜厚度测量:透射电镜(TEM)截面分析厚度范围0.5-500nm,误差≤3%
4.元素分布表征:能谱仪(EDS)实现Be-U元素面分布分析,探测限0.1wt%
5.三维结构重构:激光共聚焦显微镜Z轴分辨率0.2μm(物镜40X/NA0.95)
1.金属材料:铝合金晶界腐蚀深度(GB/T3246.1)、不锈钢夹杂物评级(ISO4967)
2.半导体器件:芯片焊点空洞率(IPC-A-610)、晶圆线宽CD测量(SEMIMF1812)
3.高分子材料:塑料薄膜结晶度测定(ISO11357)、橡胶填料分散度分析
4.生物医学样本:细胞超微结构观察(TEM)、组织切片厚度验证(ISO8037)
5.纳米材料:量子点粒径分布统计(动态光散射法GB/T24369)
1.ASTMB748-90(2021):扫描电镜定量测量覆层厚度方法
2.ISO16700:2016:微束分析-扫描电镜校准规程
3.GB/T27760-2020:扫描电镜测量纳米颗粒粒度方法
4.ISO10934:2020:光学显微镜术语与定义体系
5.GB/T18873-2017:生物样品透射电镜制备规范
1.ZEISSGeminiSEM500:场发射扫描电镜,分辨率0.8nm@15kV
2.OlympusBX53M:工业金相显微镜,配备DP27数码相机(2000万像素)
3.ThermoFisherTalosF200X:透射电镜配备SuperXEDS系统
4.KeyenceVK-X3000:激光共聚焦显微镜Z轴重复性0.02μm
5.BrukerContourGT-K1:白光干涉仪垂直分辨率0.01nm
6.LeicaDM2700M:偏光显微镜带热台系统(RT-600℃)
7.HitachiRegulus8100:冷场发射电镜加速电压0.5-30kV
8.NikonEclipseLV150N:大样品明暗场显微镜载物台行程300200mm
9.JEOLJSM-7900F:超高分辨扫描电镜分辨率0.6nm@15kV
10.CarlZeissAxioImagerM2m:全自动材料显微镜带ECEpiplan物镜组
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
以上是与显微成像检测相关的简单介绍,具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。