检测项目

表面粗糙度：Ra 0.01-10 μm，Sa 0.1-50 μm

薄膜厚度：10 nm-200 μm，精度±0.5%

折射率分布：波长范围380-2500 nm，分辨率±0.0005

热膨胀系数：温度范围-50℃~300℃，精度±0.1 ppm/℃

光学均匀性：波前畸变λ/20@632.8 nm

检测范围

光学玻璃及晶体材料

半导体晶圆与MEMS器件

聚合物薄膜与涂层材料

金属表面处理层

陶瓷基复合材料

检测方法

ASTM E2381-21：白光干涉法表面形貌测量

ISO 25178-604：共聚焦显微术三维参数计算

GB/T 11168-2021：椭圆偏振法薄膜厚度测定

ISO 489:2022：折射率温度依赖性测试

GB/T 32281-2015：激光干涉法光学均匀性检测

检测设备

Zygo NewView 9000：白光干涉三维表面轮廓仪，Z轴分辨率0.1 nm

Filmetrics F20：宽光谱薄膜分析系统，支持5层膜系建模

Bruker ContourGT-K：相移干涉显微镜，横向分辨率0.3 μm

Shimadzu AIM-9000：红外椭圆偏振仪，波长覆盖2-25 μm

Trioptics OptiCentric 150：双光路激光干涉仪，孔径检测范围Φ150 mm