检测项目
表面粗糙度检测：Ra 0.1nm-10μm，Sa 0.05-5μm
薄膜厚度测量：10nm-200μm（误差±0.5%）
三维形貌分析：Z轴分辨率0.1nm，XY分辨率1μm
平面度检测：λ/20精度（@632.8nm）
折射率测定：n值范围1.3-3.5（精度±0.0002）
检测范围
光学元件：透镜、棱镜、滤光片镀膜层
半导体材料：硅片、GaAs晶圆、光刻胶涂层
金属加工件：精密轴承、涡轮叶片表面
高分子薄膜：PET保护膜、OLED封装层
精密机械部件：MEMS器件、微流控芯片
检测方法
ISO 25178-6: 表面形貌干涉测量规范
ASTM E284-22: 光学表面特性术语标准
GB/T 1800.4-2020: 产品几何技术规范
ISO 10110-5: 光学元件表面缺陷检测
GB/T 29531-2013: 精密加工表面粗糙度测量
检测设备
Zygo NewView 9000：相移干涉仪，垂直分辨率0.1nm
Bruker ContourGT-X3：白光干涉仪，扫描速度25μm/s
Veeco NT9800：动态干涉系统，孔径Φ300mm
Filmetrics F20：薄膜厚度测量仪，波长范围400-1000nm
Mitutoyo SURFTEST SJ-410：接触式干涉仪，最大行程25mm