检测项目

表面粗糙度检测：Ra≤0.05μm，Rz≤0.4μm（接触式测量）

同轴度公差检测：径向跳动≤2μm/200mm，轴向偏摆≤3μm

表面硬度检测：HRC 50-55（洛氏硬度）或HV 600-650（维氏硬度）

动态偏摆测试：转速3000rpm下全跳动量≤5μm

耐腐蚀性检测：中性盐雾试验≥240h（GB/T 10125）

检测范围

不锈钢镜面轴：马氏体不锈钢（如420/440C）用于精密轴承系统

铝合金硬质氧化轴：6061-T6阳极氧化处理，适用于光学转台

钛合金超精轴：TC4材质，用于医疗CT设备旋转机构

陶瓷复合材料轴：氮化硅(Si3N4)材质，应用在真空环境转轴

高分子聚合物轴：PEEK+碳纤维增强材料，用于半导体晶圆传输系统

检测方法

ISO 4287:1997 表面粗糙度轮廓法测量

GB/T 1958-2017 产品几何量技术规范（GPS）形状和位置公差检测

ASTM E18-22 金属材料洛氏硬度标准试验方法

ISO 1940-1:2018 机械振动-刚性转子的平衡品质要求

GB/T 228.1-2021 金属材料拉伸试验方法

检测设备

泰勒霍普森Surfcom 5000系列表面轮廓仪：分辨率0.8nm，满足ISO 4287标准

海克斯康Global Advantage三坐标测量机：空间测量精度(1.9+L/250)μm

岛津HMV-G21ST显微维氏硬度计：载荷范围10gf-2kgf，符合ASTM E384

申克V6动平衡机：最小可达剩余不平衡量0.1g·mm/kg

雷尼绍XL-80激光干涉仪：线性测量分辨率1nm，动态测量带宽50kHz