检测项目
载流子浓度检测:测量范围1E14~1E19 cm⁻³,误差≤±5%
载流子迁移率分析:测试条件300K~500K,精度±2 cm²/(V·s)
禁带宽度测定:光谱范围200~2500 nm,分辨率0.1 eV
介电常数测试:频率1kHz~1MHz,温度稳定性±0.5%
热导率检测:温度范围-50~300℃,测量精度±3%
检测范围
III-V族化合物半导体:GaAs、InP、GaN等
II-VI族宽禁带半导体:ZnO、CdS、ZnSe等
氧化物半导体:TiO₂、SnO₂、WO₃等
有机半导体材料:并五苯、酞菁铜等
异质结结构材料:AlGaN/GaN、SiC/Si等
检测方法
霍尔效应测试:ASTM F76,GB/T 13392
紫外-可见分光光度法:ISO 21501,GB/T 9721
四探针电阻率测试:ASTM F84,GB/T 1551
热扩散法热导率检测:ISO 22007,GB/T 3651
椭圆偏振光谱分析:ISO 14762,GB/T 18901
检测设备
Keithley 4200A-SCS参数分析仪:支持DC~1MHz电学参数测试
Agilent Cary 7000紫外可见分光光度计:波长范围190~3300 nm
Linseis LFA 1000激光导热仪:温度范围-120~500℃
Horiba UVISEL 2椭圆偏振仪:光谱范围190~2100 nm
Lake Shore 8400系列霍尔测试系统:磁场强度0~2T,温度范围10~400K