检测项目
1.谱线半高宽（FWHM）：测量波长范围200-2500nm，精度0.02nm
2.峰谷比（PVR）：动态范围≥60dB，分辨率0.1dB
3.基线漂移量：最大允许偏差0.5%FS
4.洛伦兹分量占比：拟合误差≤1.5%
5.高斯展宽系数：计算范围0.1-5.0cm⁻
检测范围
1.光学镀膜材料（增透膜、反射膜、滤光片）
2.半导体晶圆（硅基、GaN、SiC衬底）
3.荧光粉及量子点发光材料
4.金属表面等离子体共振器件
5.光纤布拉格光栅传感器
检测方法
ASTME903-20《材料光谱反射率的标准测试方法》
ISO14706:2014《表面化学分析-俄歇电子能谱-谱线校准》
GB/T13320-2007《金属材料金相图谱定量分析方法》
ISO15470:2017《表面化学分析-X射线光电子能谱-强度标定》
GB/T29731-2013《表面化学分析扫描探针显微镜原子力显微镜的校准》
检测设备
1.HoribaLabRAMHREvolution显微拉曼光谱仪：532/633/785nm多波长激发源
2.BrukerDimensionIcon原子力显微镜：峰值力轻敲模式分辨率0.1nm
3.AgilentCary7000全能型分光光度计：波长精度0.08nm
4.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜：405nm激光光源Z轴分辨率1nm
5.PerkinElmerLambda1050+紫外可见近红外分光光度计：杂散光＜0.00007%T
6.ThermoScientificNicoletiS50傅里叶红外光谱仪：DTGS检测器信噪比50,000:1
7.ZeissCrossbeam550聚焦离子束电镜：1nm束斑尺寸EDX分析系统
8.RenishawinViaQontor共焦拉曼系统：空间分辨率＜300nm
9.Keysight5500原子力显微镜：声学噪声抑制＜20pmRMS
10.ShimadzuIRAffinity-21傅里叶变换红外光谱仪：波数精度0.01cm⁻