检测项目

1.表面粗糙度分析：测量Ra（0.01-10μm）、Rz（0.1-100μm）、Sa（三维粗糙度）参数

2.涂层厚度测定：分辨率达0.1μm，量程覆盖0.1-500μm

3.三维形貌重构：Z轴分辨率≤5nm，最大扫描面积100100mm

4.微结构尺寸测量：特征尺寸精度0.05μm（X/Y轴），0.01μm（Z轴）

5.材料成分分析：通过反射率光谱（波长范围400-800nm）识别材质特性

检测范围

1.金属材料：钛合金精密部件、轴承滚道表面

2.高分子材料：医用导管内壁、光学级PMMA镜片

3.半导体器件：晶圆刻蚀图形、MEMS微结构

4.光学镀膜元件：AR膜层厚度、滤光片阶梯结构

5.生物医学样本：人工关节表面处理质量、牙科种植体形貌

检测方法

ASTME284-22《表面粗糙度术语定义》

ISO4287:2023《几何产品规范(GPS)表面结构:轮廓法》

GB/T11344-2021《接触式超声波测厚方法》

ISO25178-604:2022《非接触式共聚焦显微测量规范》

GB/T33523.601-2017《产品几何技术规范表面结构区域法》

检测设备

1.OlympusLEXTOLS5000：配备405nm激光源，支持120nm横向分辨率测量

2.KeyenceVK-X3000：集成4KCMOS探测器，实现0.001nmZ轴分辨率

3.ZeissLSM900：配置GaAsP探测器模块，适用于荧光材料分析

4.NikonAX/AXR：搭载DU4探测器，最大扫描速度200fps

5.BrukerContourGT-X3：采用白光干涉技术兼容模式工作

6.SensofarSneox：三模式系统（共聚焦/干涉/焦点变化）综合平台

7.LeicaDCM8：配备双物镜转台（2.5X-150X连续变倍）

8.HitachiKS-1100：专设环境振动隔离系统（隔振频率≤1Hz）

9.MitakaNH-3S：内置温度补偿模块（0.1℃控温精度）

10.ZygoNewView9000：整合Mx™软件实现实时三维分析

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与共聚焦面目镜检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。