检测项目
1.极限真空度：测量泵在稳定运行状态下的最低压力值（110-2Pa至110-4Pa）
2.抽气速率：评估单位时间内气体排出量（10m/h至2000m/h）
3.泄漏率：采用氦质谱法测定系统漏率（≤110-9Pam/s）
4.温升特性：连续运行8小时监测泵体温度变化（ΔT≤45℃）
5.振动噪声：依据ISO10816标准测量机械振动值（≤4.5mm/sRMS）
检测范围
1.旋片式真空泵（油润滑/干式）
2.罗茨真空泵组（多级串联系统）
3.螺杆式无油真空泵
4.水环真空泵（闭式循环系统）
5.分子筛吸附泵（超高真空应用）
检测方法
1.ASTME2931-20：真空系统泄漏率测试标准方法
2.ISO21360:2018：真空泵性能测量规范
3.GB/T19956.1-2022：容积真空泵性能测试方法
4.GB/T3163-2023：真空技术术语及图形符号
5.ISO10085:2021：真空泵噪声测量工程法
检测设备
1.AgilentUHV-24复合真空计（量程110-9Pa至1105Pa）
2.LeyboldPHOENIXL300氦质谱检漏仪（灵敏度510-12Pam/s）
3.INFICONCDG025D电容薄膜规（精度0.15%读数）
4.Keysight34470A数字万用表（7位分辨率）
5.Bruel&Kjaer2270声级计（频率范围6Hz至20kHz）
6.FlukeTiX580红外热像仪（热灵敏度≤0.03℃）
7.SKFMicrologAnalyzerCMXA51振动分析仪（ISO10816认证）
8.TSI4040热线风速仪（量程0-50m/s）
9.MKSBaratron627D绝压传感器（满量程1000Torr）
10.EdwardsXDS35i干式涡旋泵（参考标准泵组）