1.极限真空度:测量泵在稳定运行状态下的最低压力值(110-2Pa至110-4Pa)
2.抽气速率:评估单位时间内气体排出量(10m/h至2000m/h)
3.泄漏率:采用氦质谱法测定系统漏率(≤110-9Pam/s)
4.温升特性:连续运行8小时监测泵体温度变化(ΔT≤45℃)
5.振动噪声:依据ISO10816标准测量机械振动值(≤4.5mm/sRMS)
1.旋片式真空泵(油润滑/干式)
2.罗茨真空泵组(多级串联系统)
3.螺杆式无油真空泵
4.水环真空泵(闭式循环系统)
5.分子筛吸附泵(超高真空应用)
1.ASTME2931-20:真空系统泄漏率测试标准方法
2.ISO21360:2018:真空泵性能测量规范
3.GB/T19956.1-2022:容积真空泵性能测试方法
4.GB/T3163-2023:真空技术术语及图形符号
5.ISO10085:2021:真空泵噪声测量工程法
1.AgilentUHV-24复合真空计(量程110-9Pa至1105Pa)
2.LeyboldPHOENIXL300氦质谱检漏仪(灵敏度510-12Pam/s)
3.INFICONCDG025D电容薄膜规(精度0.15%读数)
4.Keysight34470A数字万用表(7位分辨率)
5.Bruel&Kjaer2270声级计(频率范围6Hz至20kHz)
6.FlukeTiX580红外热像仪(热灵敏度≤0.03℃)
7.SKFMicrologAnalyzerCMXA51振动分析仪(ISO10816认证)
8.TSI4040热线风速仪(量程0-50m/s)
9.MKSBaratron627D绝压传感器(满量程1000Torr)
10.EdwardsXDS35i干式涡旋泵(参考标准泵组)
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
以上是与粗抽泵检测相关的简单介绍,具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。