检测项目
1. 压电常数d33(100-600pC/N)
2. 相对介电常数εr(500-3500)
3. 机电耦合系数Kp(0.30-0.70)
4. 机械品质因数Qm(50-1000)
5. 谐振频率fr(1kHz-10MHz)
检测范围
1. PZT压电陶瓷：PZT-5H、PZT-8
2. 石英晶体传感器：AT切、BT切晶片
3. PVDF压电薄膜：厚度20-110μm
4. 压电加速度计：IEPE型、电荷输出型
5. 超声波传感器：1-10MHz谐振元件
检测方法
1. GB/T 3389-2008 压电陶瓷材料性能测试方法
2. IEC 60483:1976 压电陶瓷材料性能测试
3. GB/T 11311-2008 压电陶瓷材料纵向压电应变常数d33的准静态测试
4. IEEE 176-1987 压电晶体参数测定方法
5. GB/T 2414.2-2017 压电陶瓷材料性能测试方法
检测设备
1. 准静态d33测试仪(ZJ-4AN)：量程10-10000pC/N，精度±2%
2. 阻抗分析仪(4294A)：频率40Hz-110MHz
3. LCR数字电桥(TH2826)：频率20Hz-1MHz，精度0.05%
4. 信号发生器(33220A)：频率0-20MHz
5. 数字示波器(MSO-X 2024A)：带宽200MHz
6. 极化装置(GD-300)：高压0-10kV，升温300℃
7. 压电加速度校准系统(2966C)：0.5-10000Hz
8. 游标卡尺(精度0.02mm)：测量陶瓷元件尺寸
9. 精密阻抗测量夹具(16047E)：测试频率1MHz