可送检的样品类型与对应检测项目
| 样品类型 | 典型应用场景 | 主要检测项目 | 常用方法 / 参考 |
|---|---|---|---|
| 罗茨真空泵机组（JZJ/JZJS型，罗茨泵串联旋片或滑阀前级泵） | 真空冶金脱气、化工真空蒸馏、大型真空浸渍与干燥产线 | 极限压力、抽速曲线、最大允许压差、溢流阀压差、噪声、连续运转稳定性 | JB/T 6921-2017《罗茨真空泵机组》；JB/T 7674-2017《罗茨真空泵》；GB/T 25753.4-2015 噪声测量 |
| 旋片真空泵机组（2XZ/2X型双级油封机组） | 真空包装、实验室真空获取、小型镀膜与冻干配套 | 极限真空、抽气速率、返油量、油温温升、噪声与振动 | GB/T 40344.2-2021 容积真空泵性能测量；JB/T 6533-2017《旋片真空泵》；JB/T 8944-2019《单级旋片真空泵》 |
| 水环真空泵机组（SZ/2SK型及大气喷射组合） | 电厂凝汽器抽真空、造纸脱水、矿山与市政真空吸送 | 气量、轴功率、极限真空、效率、能效等级验证 | GB/T 13929-2024《水环真空泵和水环压缩机 试验方法》；GB/T 13930-2024 气量测定方法；JB/T 14164-2022 能效限定值 |
| 干式螺杆/多级罗茨干式真空机组（无油机组） | 半导体制造、制药冻干、锂电池注液前除湿 | 极限压力、无油洁净度（返流分析）、抽速曲线、长时间连续运转考核 | JB/T 11716-2025《螺杆型干式真空泵》；JB/T 11237-2011《多级罗茨干式真空泵》；GB/T 40344.1-2021 总体要求 |
| 高真空油扩散泵机组（扩散泵+罗茨+旋片多级配置） | 光学镀膜机、真空钎焊炉、真空冶炼炉配套 | 极限压力、体积流率（抽速）、泵液返流率、加热时间、前级耐压 | GB/T 19955.1-2005 抽速测量；GB/T 19955.2-2005 临界前级压力测量；GB/T 21272-2007 泵液返流率测量 |
| 涡轮分子泵机组与凝汽器抽真空系统 | 超高真空科研装置、分析仪器配套、汽轮机排汽系统 | 极限压力分布、性能特性曲线、急停扭矩、系统真空严密性 | GB/T 7774-2007 涡轮分子泵性能参数测量；GB/T 33638-2017 急停扭矩测试；DL/T 932-2019 真空系统运行维护导则 |
检测项目
1. 极限真空度：油封旋片双级机组一般≤6×10⁻²Pa，罗茨泵机组极限压力5×10⁻²~1×10⁻¹Pa，水环机组绝压≤3.3kPa，分子泵机组可达10⁻⁵~10⁻⁸Pa
2. 抽气速率：罗茨泵抽速30~1200L/s，旋片泵0.5~70L/s，实测抽速与标称值偏差一般控制在±10%以内
3. 抽气时间与压升率：从大气抽至规定真空度的时耗考核，静态保压压升率一般要求≤5Pa/h，高洁净场合≤1Pa/h
4. 氦质谱漏率：机组整体与关键密封部位漏率一般≤1×10⁻⁶Pa·m³/s量级，超高真空场合要求≤1×10⁻⁹Pa·m³/s
5. 噪声与振动：机组整机噪声一般≤75~85dB(A)，轴承座振动速度有效值≤4.5mm/s
6. 电气安全与温升：电机绕组绝缘电阻≥1MΩ（500V DC），满负荷连续运转温升不超过绝缘等级限值
检测范围
1. 罗茨真空泵机组：JZJ型（罗茨+旋片）、JZJS型（罗茨+水环）等串联组合机组
2. 油封式机械真空泵机组：2X/2XZ旋片机组、H/HP滑阀机组
3. 水环真空泵机组：SZ/2SK单双级水环机组及大气喷射器组合机组
4. 干式真空机组：螺杆型、爪型、多级罗茨干式无油机组
5. 高真空及超高真空机组：油扩散泵机组、涡轮分子泵机组、低温泵机组
检测方法
1. JB/T 6921-2017 罗茨真空泵机组（极限压力、抽速与机组配套性能验收）
2. GB/T 40344.1-2021 真空技术 真空泵性能测量标准方法 第1部分：总体要求
3. GB/T 40344.2-2021 真空技术 真空泵性能测量标准方法 第2部分：容积真空泵
4. GB/T 13929-2024 水环真空泵和水环压缩机 试验方法（2024新版，替代2010版）
5. GB/T 13930-2024 水环真空泵和水环压缩机 气量测定方法
6. GB/T 21271-2026 真空技术 真空泵噪声测量（2026新版）
7. GB/T 19955.1-2005 蒸汽流真空泵性能测量方法 第1部分：体积流率（抽速）的测量
8. GB/T 25753.4-2015 罗茨真空泵性能测量方法 第4部分：噪声的测量
9. GB/T 3163-2024 真空技术 术语（2024新版，替代2007版）
检测设备
1. 复合真空计（电阻规+热偶规组合）：测量范围10³~10⁻¹Pa，配电离规扩展至10⁻⁵Pa，精度±10%读数
2. 氦质谱检漏仪（如ZQJ-230D型）：最小可检漏率1×10⁻¹²Pa·m³/s，吸枪模式与真空模式双用
3. 标准漏孔组件：标称漏率1×10⁻⁸Pa·m³/s量级，用于检漏仪日常校准
4. 声级计（1级）：A计权测量范围30~130dB，分辨率0.1dB，配半球面测点支架
5. 振动分析仪：频率范围10Hz~10kHz，加速度量程0.01~50g，速度有效值分辨率0.01mm/s
6. 电功率分析仪：电压量程0~1000V，电流量程0~100A，基本精度0.1%读数
7. 绝缘电阻测试仪：直流500V/1000V档，量程0.01MΩ~10GΩ
8. 多通道温度巡检仪：K型热电偶输入，测量范围-50~500℃，精度±0.5℃
9. 层流流量计与定容法抽速测试装置：流量量程0.1~2000L/min，配标准测试罩与调节阀
10. 激光转速表：非接触测量10~99999rpm，距离0.05~1m