检测项目

1. 粒径分布：测量范围0.1-1000μm，分辨率±2%

2. 电荷密度：量程±1×10⁻⁶至±1×10⁻² C/m²

3. 表面电位：精度±0.5mV，测量频率1-100kHz

4. Zeta电位：温度控制20-80℃，误差±0.1℃

5. 迁移率：电场强度0-10kV/m可调

检测范围

1. 半导体晶圆表面污染物

2. 纳米级金属氧化物颗粒

3. 生物医药用脂质体载体

4. 电子元件封装材料

5. 工业级碳化硅研磨粉体

检测方法

ASTM F50-21：洁净室悬浮颗粒实时监测规范

ISO 14644-1:2015：空气洁净度分级标准

GB/T 15445.1-2022：粒度分析激光衍射法通则

ISO 13099-3:2014：胶体体系Zeta电位测定规程

GB/T 16825.1-2018：静电放电防护材料测试方法

检测设备

1. TSI APS 3321：气溶胶粒径谱仪（0.5-20μm）

2. Malvern Zetasizer Nano ZSP：动态光散射仪（0.3nm-10μm）

3. Beckman Coulter DelsaMax Pro：多角度Zeta电位分析仪

4. Horiba Partica LA-960V2：激光粒度分析仪（10nm-5mm）

5. Keysight B2987A：静电计（0.01fA-10mA）

6. Shimadzu SALD-7500nano：纳米粒度分析系统（7nm-800μm）

7. Bruker Dimension Icon：原子力显微镜（表面电位成像）

8. Palas Promo® 3000：气溶胶电荷分析系统（±5000e/particle）

9. Dekati ELPI®+：电低压冲击器（6nm-10μm分级）

10. Agilent 4263B：LCR表（介电常数测量）