检测项目

1. 菲涅耳反射率偏差：测量波长范围200-2500nm，角度分辨率±0.1°，反射率精度±0.5%

2. 折射率均匀性：空间分辨率10μm×10μm，折射率波动≤±0.0003

3. 表面粗糙度（Ra）：测量范围0.1nm-10μm，扫描面积5mm×5mm

4. 相位延迟量：测试波长632.8nm，测量精度λ/200（PV值）

5. 偏振特性：消光比≥10000:1，斯托克斯参数测量误差≤1%

检测范围

1. 高折射率光学玻璃（H-LAK系列、H-ZF类）

2. 抗反射镀膜聚合物薄膜（PET/PC基材）

3. 金属介质复合镀层（Al/SiO₂多层结构）

4. 半导体光刻用氟化钙晶圆（直径≤300mm）

5. 红外光学硫系玻璃（Ge-As-Se体系）

检测方法

ASTM E903-20 材料太阳吸收比测试标准

ISO 13696:2002 光学元件散射特性测量方法

GB/T 26333-2010 光学薄膜折射率和厚度测试方法

ISO 10110-5:2015 光学元件表面缺陷评价标准

GB/T 13384-2008 光学零件偏振特性测试规范

检测设备

1. Horiba UVISEL 2椭偏仪：波长范围190-2100nm，膜厚测量精度±0.1nm

2. Zygo NewView 9000白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm，最大扫描面积100mm×100mm

3. Bruker ContourGT-X3光学轮廓仪：20×~150×物镜切换，RMS重复性＜0.01nm

4. Agilent Cary 7000全能型分光光度计：支持VW/VN测量模式，绝对反射率测量功能

5. Trioptics OptiCentric双光路干涉仪：最大测试直径500mm，PV值重复精度λ/50

6. Olympus LEXT OLS5000激光共聚焦显微镜：12000×光学放大倍率，Z轴分辨率1nm

7. Newport AUTOPSI干涉仪：标准波长632.8nm，支持动态相位测量模式

8. Shimadzu AIM-9000红外显微镜：MCT探测器覆盖2-25μm波段

9. Keysight N5227A矢量网络分析仪：频率范围10MHz-67GHz，时域分析功能

10. Thorlabs PAX1000偏振分析仪：波长范围400-1100nm，偏振态测量速率1kHz