检测项目

1.价带顶位置测定:精度0.05eV

2.能带宽度分析:测量范围0.1-10eV

3.电子态密度分布:分辨率≤0.1eV

4.费米能级定位:误差范围0.03eV

5.表面态密度表征:深度分辨率1-5nm

检测范围

1.半导体材料:硅基材料(Si/Ge)、III-V族化合物(GaAs/InP)

2.金属材料:过渡金属(Fe/Cu/Al)、稀土金属合金

3.绝缘体材料:氧化物陶瓷(Al₂O₃/SiO₂)、高分子聚合物

4.光伏材料:钙钛矿薄膜(MAPbI₃)、CIGS薄膜

5.催化剂材料:贵金属纳米颗粒(Pt/Pd)、金属氧化物催化剂(TiO₂/CeO₂)

检测方法

1.X射线光电子能谱法:ASTME1508-20、ISO18118:2022

2.紫外光电子能谱法:GB/T22588-2008

3.角分辨光电子能谱法:ISO19830:2017

4.同步辐射光电子能谱法:GB/T40128-2021

5.扫描隧道谱分析法:IEC62607-4-3:2019

检测设备

1.X射线光电子能谱仪(XPS):ThermoScientificK-Alpha+,配备单色化AlKα源

2.紫外光电子能谱仪(UPS):PHI5000VersaProbeIII,HeI/HeII双光源系统

3.角分辨光电子能谱系统(ARPES):ScientaOmicronDA30L半球分析器

4.扫描隧道显微镜(STM):BrukerMultiMode8-HR,能量分辨率0.1meV

5.同步辐射光束线终端站:上海光源BL08U1A线站

6.低温样品台系统:JanisST-500,温控范围4K-400K

7.超高真空系统:VGScientaR4000,极限真空510⁻mbar

8.能量分析器:SPECSPhoibos150CCD探测器

9.原位样品处理模块:OmicronEFM3电子束蒸发系统

10.数据采集系统:LabVIEW平台定制化采集软件