检测项目
1.晶体结构分析:采用XRD测定空间群(Pm-3m,Fd-3m等)及布拉格角精度0.001
2.晶格常数测定:精度达0.0001nm(立方晶系a值范围0.2-1.5nm)
3.取向偏差检测:EBSD取向角偏差≤0.5
4.缺陷密度分析:位错密度测量范围10^3-10^8cm^-2
5.热膨胀系数:温度范围-196℃~1600℃,分辨率0.0110^-6/K
检测范围
1.半导体材料:硅(Si)、砷化镓(GaAs)单晶衬底
2.光学晶体:氟化钙(CaF2)、蓝宝石(Al2O3)窗口片
3.金属单晶:镍基高温合金、钛合金定向凝固件
4.功能陶瓷:钛酸钡(BaTiO3)、锆钛酸铅(PZT)压电材料
5.超硬材料:立方氮化硼(c-BN)、金刚石单晶刀具
检测方法
1.ASTME112-13晶粒度测定方法
2.ISO179-1:2010塑料夏比摆锤冲击试验(改性晶体材料)
3.GB/T13301-91金属晶体缺陷金相评定方法
4.JISR1675:2007电子陶瓷结晶取向度测试规程
5.GB/T8362-2018金属材料X射线应力测定方法
检测设备
1.X射线衍射仪:PANalyticalEmpyrean(2θ角范围0-168,Cu靶Kα辐射)
2.扫描电镜:HitachiSU5000(分辨率1.0nm@15kV,EBSD探头OxfordSymmetry)
3.激光导热仪:NetzschLFA467HyperFlash(温度范围-125℃-1100℃)
4.原子力显微镜:BrukerDimensionIcon(扫描范围90μm90μm10μm)
5.同步热分析仪:TAInstrumentsSDT650(TG-DSC同步测量精度0.1μg)
6.电子探针:JEOLJXA-8530F(波谱仪分辨率5eV)
7.X射线应力仪:ProtoLXRD(ψ角范围45,测量深度0-50μm)
8.拉曼光谱仪:RenishawinViaQontor(光谱分辨率0.35cm^-1)
9.高温显微镜:LeicaDM2700M(最高温度1600℃,气氛可控)
10.纳米压痕仪:KeysightG200(载荷分辨率50nN,位移分辨率0.01nm)