检测项目

1.元素成分分析（Be-U元素范围，检出限0.01wt%）

2.微区形貌观察（空间分辨率1μm）

3.元素面分布成像（像素分辨率≤50nm）

4.线扫描定量分析（步长精度0.1μm）

5.晶体取向测定（EBSD角分辨率≥0.5）

检测范围

1.金属材料：高温合金成分偏析/腐蚀产物相鉴定

2.半导体器件：芯片焊点界面扩散层分析

3.地质样品：矿物包裹体原位成分测定

4.陶瓷材料：晶界元素偏聚定量表征

5.生物医学样品：硬组织钙磷比梯度分析

检测方法

ASTME1508-20电子探针定量分析标准规程

ISO22309:2011微束分析-能谱定量通则

GB/T17359-2023微区成分分析通用技术条件

GB/T28634-2023电子探针波谱仪校准规范

JISK0133:2022EPMA仪器性能验证方法

检测设备

JEOLJXA-8530FPlus：配备5道WDS+SDD探测器，实现全元素同步分析

ShimadzuEPMA-8050G：高束流稳定性设计（波动＜0.1%/h）

CamecaSXFive：全聚焦罗兰圆光学系统（波长分辨率＜5eV）

ThermoFisherApreo2：集成FEG电子枪与EDS/WDS联用系统

OxfordInstrumentsUltimExtreme：大面积SDD探测器（100mm有效面积）

HitachiEA-8000：低真空模式（10-300Pa）生物样品专用机型

BrukerQUANTAXWDS：四通道波谱仪模块化扩展系统

TESCANMIRA6：场发射枪+CL阴极发光联用配置

ZEISSSigma500：Gemini光学镜筒（束流稳定性0.05%）

HORIBAEX-370：高灵敏度轻元素探测器（B元素检出限0.05wt%）