检测项目
1.表面电荷密度测定：测量范围110⁻⁹~110⁻C/m，分辨率0.1pC/cm
2.体积电荷分布分析：空间分辨率≤50μm，最大探测深度5mm
3.静电电位衰减测试：时间范围0.1s-3600s，精度2%
4.电荷极性分布表征：支持正/负双极性同步检测
5.电荷均匀性评估：采用9点网格法进行平面扫描
检测范围
1.高分子绝缘材料：包括PE、PP、PTFE等聚合物薄膜
2.半导体晶圆：直径≤300mm的硅基/化合物半导体基板
3.防静电纺织品：表面电阻10⁶~10Ω/sq的织物
4.电子元器件封装材料：环氧树脂模塑料及陶瓷封装体
5.医疗器械涂层：医用导管、植入体表面改性层
检测方法
ASTMD4470-18：非导电材料表面电压衰减测试标准
ISO80683:2020：静电感应法体积电荷测量规程
GB/T31838.4-2021：固体绝缘材料电荷密度测定法
IEC61340-4-1:2015：材料静电特性测试通用规范
GB/T12703.6-2020：纺织品静电性能动态测试法
检测设备
KeysightB2987A静电计：分辨率0.01fC，支持20kV量程
TrekModel347静电电位计：空间分辨率0.5mm
SimcoFMX-003静电场测试仪：三维场强测量范围200kV/m
Monroe284A电荷衰减测试系统：符合ASTMF1802标准
Keithley6517B高阻计：最大电阻测量10⁶Ω
OnoSokkiFG-300电荷分布成像仪：扫描速度50mm/s
HIOKIST4040表面电位计：温度补偿范围-20~60℃
MitsubishiChemicalMCP-HT450高温电荷分析仪：工作温度最高450℃
HBMML801B多通道电荷采集系统：同步采集32通道数据
ZimmerPE-1000脉冲电晕放电装置：放电能量0.1-10mJ可调