检测项目

1.表面电荷密度测定：测量范围110⁻⁹~110⁻C/m，分辨率0.1pC/cm

2.体积电荷分布分析：空间分辨率≤50μm，最大探测深度5mm

3.静电电位衰减测试：时间范围0.1s-3600s，精度2%

4.电荷极性分布表征：支持正/负双极性同步检测

5.电荷均匀性评估：采用9点网格法进行平面扫描

检测范围

1.高分子绝缘材料：包括PE、PP、PTFE等聚合物薄膜

2.半导体晶圆：直径≤300mm的硅基/化合物半导体基板

3.防静电纺织品：表面电阻10⁶~10Ω/sq的织物

4.电子元器件封装材料：环氧树脂模塑料及陶瓷封装体

5.医疗器械涂层：医用导管、植入体表面改性层

检测方法

ASTMD4470-18：非导电材料表面电压衰减测试标准

ISO80683:2020：静电感应法体积电荷测量规程

GB/T31838.4-2021：固体绝缘材料电荷密度测定法

IEC61340-4-1:2015：材料静电特性测试通用规范

GB/T12703.6-2020：纺织品静电性能动态测试法

检测设备

KeysightB2987A静电计：分辨率0.01fC，支持20kV量程

TrekModel347静电电位计：空间分辨率0.5mm

SimcoFMX-003静电场测试仪：三维场强测量范围200kV/m

Monroe284A电荷衰减测试系统：符合ASTMF1802标准

Keithley6517B高阻计：最大电阻测量10⁶Ω

OnoSokkiFG-300电荷分布成像仪：扫描速度50mm/s

HIOKIST4040表面电位计：温度补偿范围-20~60℃

MitsubishiChemicalMCP-HT450高温电荷分析仪：工作温度最高450℃

HBMML801B多通道电荷采集系统：同步采集32通道数据

ZimmerPE-1000脉冲电晕放电装置：放电能量0.1-10mJ可调