检测项目

1.元素含量分析：测定材料中C、N、O等轻元素（0.1-50wt%）及重金属元素（ppm级）含量

2.化学态表征：分析元素化学态（结合能范围0-1500eV），分辨率≤0.5eV

3.深度剖析：层析深度0-1000nm，深度分辨率＜5nm/层

4.晶体结构分析：晶格常数测量精度0.001

5.表面污染检测：检出限达单分子层（110^13atoms/cm）

检测范围

1.金属材料：铝合金表面氧化层厚度及成分分析

2.半导体器件：硅片掺杂浓度（1E15-1E21atoms/cm）及界面缺陷表征

3.陶瓷材料：ZrO2相变温度点（800-1200℃）与晶相比例测定

4.高分子薄膜：PET表面改性层（10-200nm）官能团分布检测

5.生物材料：羟基磷灰石涂层Ca/P比（1.50-1.67）测定

检测方法

ASTME1621-22表面化学分析标准术语

ISO15472:2010X射线光电子能谱仪能量标定规范

GB/T17359-2023微束分析能谱法定量分析通则

ISO18118:2022表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱

GB/T19500-2017X射线光电子能谱分析方法通则

检测设备

1.ThermoFisherESCALAB250Xi：配备单色AlKα源（1486.6eV），空间分辨率3μm

2.KratosAXISSupra：深度剖析速率＞50nm/min，荷电中和系统5V可调

3.ULVAC-PHIQuantes：多技术联用系统（XPS/TOF-SIMS），检出限0.1at%

4.BrukerD8ADVANCEXRD：Cu靶Kα辐射（λ=1.5406），角度精度0.0001

5.JEOLJAMP-9500FAuger：电子束能量0.5-30keV，束斑直径＜10nm

6.SPECSPHOIBOS150：半球型能量分析器（能量分辨率＜0.45eV）

7.ShimadzuESCA-3400：配备Ar+枪（溅射速率0.1-10nm/min）

8.HORIBALabRAMHREvolution：激光波长532nm/785nm，空间分辨率＜1μm

9.Agilent6500BSIMS：质量分辨率M/ΔM＞30000@m/z=28

10.OxfordInstrumentsAZtecWave：集成EDS/WDS系统（元素范围Be-Am）

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与准谱法检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。