检测项目
1.表面电荷密度测量：范围110⁻⁹C/cm至110⁻⁴C/cm，分辨率0.1pC/cm
2.体积电阻率测试：量程110Ωcm至110⁸Ωcm，温度范围-40℃~150℃
3.静电衰减时间测定：时间分辨率0.1s~3600s，衰减率精度2%
4.电荷极性分析：灵敏度5mV，空间分辨率50μm
5.介电常数测定：频率范围20Hz~2MHz，介电损耗角正切0.0001~10
检测范围
1.半导体晶圆及封装材料（硅片、GaN衬底等）
2.高分子聚合物（PE、PTFE、PET薄膜等）
3.电子元件（PCB基板、电容器介质层等）
4.绝缘材料（陶瓷基板、云母片等）
5.生物医用材料（人工关节涂层、导管表面处理层等）
检测方法
1.ASTMD257-14：绝缘材料直流电阻测试标准方法
2.ISO3915:2021：塑料材料体积电阻率测定规范
3.GB/T31838.2-2019：固体绝缘材料介电性能试验方法
4.IEC61340-4-1:2015：静电衰减测量标准程序
5.JISC2139:2007：高电阻材料电荷存储特性测试规程
检测设备
1.KeysightB2987A静电计：分辨率0.01fA/0.1μV，支持10⁶Ω阻抗测量
2.Trek347型静电电压表：量程20kV，带宽DC-1kHz
3.Monroe284D电荷衰减测试仪：符合MIL-STD-1686C标准要求
4.Keithley6517B高阻计：最大电压1000V，基本精度0.7%
5.Electro-TechSystemsModel825电荷分布成像系统：空间分辨率50μm
6.SimcoFMX-003静电场强计：量程20kV/cm，精度5%
7.MitsubishiChemicalHV-P60耐压测试仪：输出电压DC12kV
8.HIOKIIM3570阻抗分析仪：频率范围4Hz~5MHz
9.ThermoScientificCGS-100接触式表面电位计：重复性0.5%
10.Agilent4294A精密阻抗分析仪：基本精度0.08%，支持四端对测量