检测项目
1.沉积层厚度测量:测量范围0.1-500μm,精度0.05μm
2.元素成分分析:检测限0.01wt%,可测元素范围Z≥6
3.表面密度测定:分辨率0.01g/cm,测试面积≥10mm
4.孔隙率检测:孔径测量0.1-100μm,孔隙率计算误差≤1%
5.界面附着力测试:结合强度测量0-200MPa,加载速率0.1-10mm/min
检测范围
1.金属基表面涂层:镀锌钢板、铝合金阳极氧化层、真空镀膜件
2.高分子薄膜材料:PET阻隔膜、PVDF防腐涂层、光学级PC镀膜
3.陶瓷防护涂层:热障涂层(TBC)、物理气相沉积(PVD)硬质膜层
4.复合材料界面层:碳纤维/树脂结合面、金属/陶瓷扩散层
5.半导体薄膜器件:晶圆镀膜层、ITO导电膜、光伏电池功能层
检测方法
1.ASTMB748-90(2021):X射线荧光法测镀层厚度
2.ISO2178:2016:磁性法非破坏测厚技术规范
3.GB/T1771-2007:盐雾试验评估镀层耐腐蚀性能
4.ASTME1078-14:扫描电镜(SEM)界面形貌分析方法
5.ISO1463-2021:金相显微镜截面测量标准规程
6.GB/T31563-2015:辉光放电光谱元素深度剖析法
检测设备
1.ThermoScientificNitonXL5X射线荧光光谱仪:实现多元素快速无损分析
2.BrukerDektakXT表面轮廓仪:台阶高度测量分辨率0.1
3.ZeissSigma500场发射扫描电镜:配备EDS能谱的微观形貌分析系统
4.FischerMP0磁感应测厚仪:符合ISO2178标准的便携式设备
5.Agilent7900ICP-MS:痕量元素分析检出限达ppt级
6.Instron5967万能材料试验机:满足ASTMC633附着力测试要求
7.KeyenceVHX-7000数字显微镜:5000倍光学放大截面观测系统
8.MalvernPanalyticalEmpyreanX射线衍射仪:物相结构分析精度0.01
9.Elcometer456涂层测厚仪:四合一探头适应多种基体材料
10.HitachiUH4150紫外分光光度计:薄膜光学特性测试波长范围185-3300nm