检测项目

1.正交性误差：测量X/Y/Z轴间夹角与90理论值的偏差量程0.05

2.角度累积偏差：评估运动系统在300mm行程内的角度偏移量≤0.03

3.线性度误差：检测单轴运动轨迹直线度误差≤0.1μm/m

4.重复定位精度：验证系统在50次循环中的位置复现性0.5μm

5.温度稳定性：测试-20℃至+60℃温变条件下的形变量≤2μm/℃

检测范围

1.五轴联动精密机床导轨系统

2.光刻机晶圆平台双频激光干涉系统

3.同步辐射光源多自由度调节基座

4.惯性导航系统三轴陀螺仪安装框架

5.航天器姿态控制万向节传动机构

检测方法

ASTME1774-19《多轴运动系统角度测量标准规程》

ISO230-2:2014《机床检验规范第2部分：数控轴定位精度》

GB/T17421.2-2016《机床检验通则第2部分：数控轴线性运动》

ASMEB5.54-2005《机床及加工中心性能评价方法》

JISB6190-6:2019《工业机器人性能试验方法第6部：位姿特性》

检测设备

1.HexagonGlobalS07.10.07三坐标测量机：空间坐标测量精度0.6+L/350μm

2.RenishawXL-80激光干涉仪：线性测量分辨率0.001μm

3.APIXDLaser六维激光跟踪仪：动态角度测量精度0.5角秒

4.KeysightN7788B光波前分析仪：波前畸变检测灵敏度λ/1000

5.MitutoyoCrysta-ApexS574超高精度测长机：最大允许误差(0.2+0.3L/1000)μm

6.PolytecPSV-500扫描式激光测振仪：振动位移分辨率0.1pm/√Hz

7.SIOSSP-2000纳米定位平台：闭环控制精度0.1nm

8.ZygoVerifireMST干涉仪：面形测量PV值重复性＜λ/200

9.OGPSmartScopeFlash500多传感器系统：光学+探针复合测量精度1μm

10.Agilent5530动态校准仪：频率响应范围DC-100kHz