检测项目
1.正向压降(VF):测量0.1A-100A电流范围下的导通电压值(0.2V-1.5V),测试温度25℃-150℃
2.反向击穿电压(VR):评估10V-200V反向偏置电压下的漏电流(≤1μA-10mA)
3.结电容(Cj):测试0-30V偏置电压下的寄生电容(1pF-1000pF),频率范围1MHz-1GHz
4.热阻特性(RθJA):测量器件结温与环境温差(ΔT=50℃-150℃)下的热传导性能
5.反向恢复时间(trr):验证10ns-100ns时间范围内的电荷存储效应
检测范围
1.硅基肖特基二极管(SBD):包括TO-220、TO-247、SMD封装器件
2.碳化硅肖特基二极管(SiCSBD):耐压600V-1700V功率器件
3.砷化镓肖特基势垒微波器件:工作频率1GHz-40GHz射频元件
4.肖特基晶圆材料:4英寸/6英寸硅外延片及SiC衬底片
5.金属半导体接触材料:镍/钛/铂/钨等金属与半导体的界面特性
检测方法
1.ASTMF397-08(2020):半导体器件静态参数测试标准方法
2.IEC60747-5:分立半导体器件测试规范第5部分:光电器件
3.GB/T6571-2018:半导体器件分立器件和集成电路第5-1部分:光电子器件总则
4.JESD22-A108F:电子器件高温工作寿命测试标准
5.MIL-STD-750F:军用标准半导体器件试验方法
检测设备
1.KeysightB1505A功率器件分析仪:支持3000V/1500A高压大电流测试
2.TektronixDMM6500数字万用表:6位分辨率直流参数测量
3.Agilent4294A精密阻抗分析仪:40Hz-110MHz频率范围阻抗测试
4.ThermoScientificT3Ster结构函数分析仪:瞬态热阻特性测量系统
5.ESPECSH-642恒温恒湿箱:温度范围-70℃~+180℃,湿度10%~98%RH
6.LeCroyHDO6034示波器:350MHz带宽反向恢复时间测试
7.CascadeSummit12000探针台:12英寸晶圆级参数测试平台
8.FlukeTi450红外热像仪:非接触式结温分布测量系统
9.Chroma19032电源负载系统:多通道动态特性测试装置
10.BrukerDektakXTL台阶仪:薄膜厚度与表面形貌分析