检测项目
1.电导率测量:范围10^-6S/m至10^8S/m,精度0.5%
2.载流子浓度测定:覆盖10^12cm^-3至10^20cm^-3量级
3.迁移率分析:霍尔效应法测量0.1-10^5cm/(Vs)
4.能带结构表征:扫描范围5eV,分辨率≤0.01eV
5.界面态密度检测:频率1kHz-1MHz下C-V特性测试
检测范围
1.半导体材料:硅基器件、III-V族化合物半导体
2.二维材料:石墨烯、过渡金属硫化物薄膜
3.导电聚合物:PEDOT:PSS、聚苯胺复合材料
4.新能源器件:钙钛矿太阳能电池电极层
5.纳米复合材料:碳纳米管/金属氧化物异质结
检测方法
1.ASTMF76-08(2020):半导体材料霍尔效应测试标准
2.ISO14707:2021表面分析-辉光放电光谱法测定载流子浓度
3.GB/T1551-2021硅单晶电阻率测定方法
4.IEC62805-2:2017光伏器件载流子寿命测试规程
5.JISH0605-2019薄膜材料四探针法电阻测量规范
检测设备
1.Keithley4200-SCS半导体参数分析仪:支持DC-IV/CV/脉冲测试模式
2.LakeShore8404系列霍尔效应测量系统:磁场强度2T,温度范围4K-400K
3.AgilentB1500A精密阻抗分析仪:频率范围1MHz至3GHz
4.HoribaLabRAMHREvolution显微拉曼光谱仪:空间分辨率≤0.5μm
5.KeysightE4990A阻抗分析仪:基本精度0.045%
6.OxfordInstrumentsMicrostatHiResII低温恒温器:工作温度1.5K-500K
7.BrukerDimensionIcon原子力显微镜:导电AFM模式分辨率1nm
8.ThermoScientificESCALABXi+X射线光电子能谱仪:能量分辨率<0.45eV
9.MitsubishiChemicalLoresta-GXMCP-T700四探针电阻测试仪:量程10^-3~10^6Ω/sq
10.SemilabWT-2000少子寿命测试仪:瞬态光电导衰减法测量精度5%