扫描速度检测

检测项目

1.扫描分辨率：测量最小可识别特征尺寸（0.1μm-10mm）

2.速度稳定性：评估连续扫描时速度波动率（0.5%-5%）

3.动态重复精度：测定重复扫描同一路径的位置偏差（≤3μm）

4.加速度响应：记录从静止到标称速度的时间常数（0.1-5ms）

5.同步误差：检测多轴联动时的时序偏差（≤10μs）

检测范围

1.工业CT扫描系统的旋转载物台

2.激光三维扫描仪的平移导轨组件

3.半导体晶圆检测设备的精密运动平台

4.医疗CT机的机架旋转系统

5.自动化光学检测(AOI)设备的线性模组

检测方法

ASTME2919-14非接触式光学测量系统性能评价标准

ISO10360-7坐标测量机动态特性测试规范

GB/T26103.3-2010数控机床运动性能测试方法

ISO9283-2018工业机器人性能测试标准

GB/T34879-2017精密加工中心动态精度检验规范

检测设备

1.KeyenceLJ-V7000系列高速激光扫描仪：采样频率100kHz，Z轴分辨率0.1μm

2.RenishawXL-80激光干涉仪：线性测量精度0.5ppm，最大速度4m/s

3.PolytecPSV-500扫描式激光测振仪：频率范围DC-25MHz，速度分辨率1μm/s

4.OGPSmartScopeFlash500多传感器系统：XYZ精度(1.9+4L/1000)μm

5.Micro-EpsilonscanCONTROL2900-100激光轮廓仪：2048点/轮廓，扫描速率40kHz

6.SIOSSP-2000激光干涉仪：位移分辨率0.1nm，最大测量速度8m/s

7.HexagonAbsoluteArm7轴测量臂：动态跟踪速率1000Hz

8.ZygoZPS干涉定位系统：亚纳米级位移测量精度

9.NikonLC60Dx激光雷达：360扫描速率100rpm

10.MitutoyoLH-600高精度测长机：最大速度500mm/s，分辨率0.01μm

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"扫描速度检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。