四探针测膜层厚度检测
四探针测膜层厚度检测以直排四探针测定膜层薄层电阻,结合电阻率换算膜层厚度,适用于硅外延层、扩散层、离子注入层、石墨烯薄膜、透明导电膜与金属镀层。检测依据GB/T 14141-2009、YB/T 6166-2024、GB/T 1551-2021等标准,配备四探针测试仪、红外反射测厚仪与标准电阻片,为半导体工艺监控与导电薄膜研发提供数据支撑。
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四探针测膜层厚度检测以直排四探针测定膜层薄层电阻,结合电阻率换算膜层厚度,适用于硅外延层、扩散层、离子注入层、石墨烯薄膜、透明导电膜与金属镀层。检测依据GB/T 14141-2009、YB/T 6166-2024、GB/T 1551-2021等标准,配备四探针测试仪、红外反射测厚仪与标准电阻片,为半导体工艺监控与导电薄膜研发提供数据支撑。