检测项目

表面密度分布：测量范围0.1-5.0 g/cm³，分辨率±0.001 g/cm³

厚度均匀性：检测精度±0.5μm，最大扫描面积300×300mm

透光率偏差：波长范围380-780nm，重复性误差≤0.3%

基材结合强度：压力测试范围0-50N，加载速率0.5-5mm/min

缺陷密度统计：最小检出尺寸10μm，定位精度±5μm

检测范围

高分子塑料薄膜（PET/PP/PE等）

金属镀层材料（电镀锌层、真空镀铝层等）

工业级纸张及特种纤维材料

光学涂层（AR膜、ITO导电膜等）

半导体晶圆表面处理层

检测方法

ASTM D8136-2022 非接触式密度测量标准

ISO 4593:2021 塑料薄膜厚度测定方法

GB/T 451.3-2020 纸和纸板厚度的测定

ISO 14706:2014 表面化学分析标准

GB/T 1771-2007 色漆和清漆 耐中性盐雾性能

检测设备

Mitutoyo QNIX 7500：配备高精度β射线传感器，支持非接触式多层材料检测

X-Rite eXact Advanced：集成光谱密度计模块，满足ISO 13655标准

Olympus DSX1000：三维数字显微镜搭配密度分析软件，精度0.01μm

Keyence VHX-7000：4K超景深显微系统，支持0.1%透光率检测

Bruker Contour Elite：白光干涉仪结合密度测绘功能，扫描速度25mm/s