检测项目

表面粗糙度：Ra值≤0.02μm（白光干涉法）

反射率：400-1100nm波段≥95%（±0.5%测量误差）

面形精度：PV值≤λ/10（λ=632.8nm）

镀膜厚度：铝膜80-120nm，介质膜±5%公差

抗冲击性：50g钢球1.2m自由落体无裂痕

检测范围

光学玻璃反射镜（K9、熔石英等）

金属镀膜反射镜（铝、银、金基材）

聚合物基反射镜（PC、PMMA材料）

陶瓷基反射镜（碳化硅、氮化铝）

复合涂层反射镜（防腐蚀/耐高温特种涂层）

检测方法

表面粗糙度：ISO 10110-8:2020光学元件表面疵病检测

反射率测定：ASTM E429-17标准球面反射测量法

面形精度：GB/T 2831-2009光学零件面形偏差检测方法

镀膜附着力：ISO 9211-4:2012光学镀膜耐磨性试验

环境试验：GB/T 12085.6-2022光学系统湿热、盐雾测试

检测设备

Zygo NewView 9000白光干涉仪：三维表面形貌分析

PerkinElmer Lambda 1050分光光度计：5nm光谱分辨率反射测量

Zygo Verifire XP/D激光干涉仪：λ/1000面形精度检测

Filmetrics F20薄膜测厚仪：1nm级镀层厚度测量

Instron CEAST 9350冲击试验机：0.5J-50J能量范围测试