检测项目
最小可检漏率：5.0×10-12 Pa·m3/s（标准氦气流量）
压力测试范围：1×10-8 Pa至1×105 Pa（绝对压力）
响应时间：≤3秒（90%信号响应）
校准精度：±5%（NIST可溯源标准漏孔）
本底噪声值：≤1×10-11 mbar·L/s（真空模式）
检测范围
真空设备：分子泵组、低温恒温器、粒子加速器腔体
密封元件：O型橡胶圈、金属波纹管、陶瓷封接件
汽车部件：燃料电池双极板、EV电池模组外壳、涡轮增压管路
医疗器材：血液透析器膜组、植入式传感器封装体
电子器件：MEMS封装腔体、高功率IGBT模块外壳
检测方法
真空箱法：ASTM E493-06(2021) Standard Test Method for Leaks Using the Mass Spectrometer Leak Detector in the Inside-Out Testing Mode
喷吹法：ISO 20486:2017 Non-destructive testing - Leak testing - Calibration of reference leaks for gases
累积法：GB/T 34630-2017 密封器件氦质谱细检漏方法
背压法：GB/T 15171-1994 软包装件密封性能试验方法
差压法：ISO 10648-2:1994 Containment enclosures - Part 2: Leakage detection methods
检测设备
歌博HX200型四极杆质谱仪：配备0-200 amu质量范围分析器，支持双通道进样系统（内置参考漏孔校准模块）
TURBOVAC 350分子泵组：极限真空度5×10-8 mbar，搭配干式前级泵实现无油真空环境
TESTO 622压力校准仪：量程0.1 Pa至2000 kPa（精度±0.05%FS）
Aglient 7890B气相色谱联用系统：用于氦气纯度分析（检出限0.1 ppm）
CETA-3000自动测试平台：集成XYZ三轴机械臂（定位精度±0.02 mm），支持批量工件连续测试