检测项目

最小可检漏率：5.0×10^-12 Pa·m³/s（标准氦气流量）

压力测试范围：1×10^-8 Pa至1×10⁵ Pa（绝对压力）

响应时间：≤3秒（90%信号响应）

校准精度：±5%（NIST可溯源标准漏孔）

本底噪声值：≤1×10^-11 mbar·L/s（真空模式）

检测范围

真空设备：分子泵组、低温恒温器、粒子加速器腔体

密封元件：O型橡胶圈、金属波纹管、陶瓷封接件

汽车部件：燃料电池双极板、EV电池模组外壳、涡轮增压管路

医疗器材：血液透析器膜组、植入式传感器封装体

电子器件：MEMS封装腔体、高功率IGBT模块外壳

检测方法

真空箱法：ASTM E493-06(2021) Standard Test Method for Leaks Using the Mass Spectrometer Leak Detector in the Inside-Out Testing Mode

喷吹法：ISO 20486:2017 Non-destructive testing - Leak testing - Calibration of reference leaks for gases

累积法：GB/T 34630-2017 密封器件氦质谱细检漏方法

背压法：GB/T 15171-1994 软包装件密封性能试验方法

差压法：ISO 10648-2:1994 Containment enclosures - Part 2: Leakage detection methods

检测设备

歌博HX200型四极杆质谱仪：配备0-200 amu质量范围分析器，支持双通道进样系统（内置参考漏孔校准模块）

TURBOVAC 350分子泵组：极限真空度5×10^-8 mbar，搭配干式前级泵实现无油真空环境

TESTO 622压力校准仪：量程0.1 Pa至2000 kPa（精度±0.05%FS）

Aglient 7890B气相色谱联用系统：用于氦气纯度分析（检出限0.1 ppm）

CETA-3000自动测试平台：集成XYZ三轴机械臂（定位精度±0.02 mm），支持批量工件连续测试

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与歌博氦质谱检漏仪检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。