检测项目

平面度误差：≤λ/10（λ=632.8nm）

表面粗糙度Ra值：0.1nm~10nm

曲率半径偏差：±0.5%

反射率：≥95%（400-700nm波段）

面形精度（RMS）：≤λ/20

检测范围

光学玻璃反射镜（K9、熔石英等）

金属镀膜反射镜（铝膜、银膜）

陶瓷基板反射镜（碳化硅、氮化铝）

聚合物复合材料反射镜

硅基微机电系统（MEMS）反射镜

检测方法

GB/T 2831-2009《光学零件平面度测试方法》

GB/T 1031-2009《表面粗糙度参数及其数值》

GB/T 7242-2010《透镜中心误差检验方法》

GB/T 26331.1-2010《光学薄膜光谱特性测试方法》

GB/T 7661-2009《光学零件面形偏差测试方法》

检测设备

波长632.8nm，分辨率0.1nm，用于平面度与面形精度测量

纵向分辨率0.8nm，横向分辨率1μm，支持三维表面轮廓分析

光谱范围175-3300nm，测定反射率及膜层均匀性

重复精度±0.3μm/L，用于曲率半径与几何尺寸验证

垂直分辨率10nm，实现亚纳米级粗糙度测量

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与反射镜平面检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。