检测项目
平面度误差：≤λ/10（λ=632.8nm）
表面粗糙度Ra值：0.1nm~10nm
曲率半径偏差：±0.5%
反射率：≥95%（400-700nm波段）
面形精度（RMS）：≤λ/20
检测范围
光学玻璃反射镜（K9、熔石英等）
金属镀膜反射镜（铝膜、银膜）
陶瓷基板反射镜（碳化硅、氮化铝）
聚合物复合材料反射镜
硅基微机电系统（MEMS）反射镜
检测方法
GB/T 2831-2009《光学零件平面度测试方法》
GB/T 1031-2009《表面粗糙度参数及其数值》
GB/T 7242-2010《透镜中心误差检验方法》
GB/T 26331.1-2010《光学薄膜光谱特性测试方法》
GB/T 7661-2009《光学零件面形偏差测试方法》
检测设备
波长632.8nm，分辨率0.1nm，用于平面度与面形精度测量
纵向分辨率0.8nm，横向分辨率1μm，支持三维表面轮廓分析
光谱范围175-3300nm，测定反射率及膜层均匀性
重复精度±0.3μm/L，用于曲率半径与几何尺寸验证
垂直分辨率10nm，实现亚纳米级粗糙度测量