检测项目

1.晶圆整体平整度：总厚度变化，整体起伏度，表面高度差，边缘区域平整性，中心区域平整性。

2.局部平坦度：局部高度波动，微区平坦偏差，小区域起伏，小范围台阶差，局部形貌均匀性。

3.翘曲与弯曲分析：整体翘曲量，弯曲程度，弓形变形，对称性偏差，受力后形变特征。

4.厚度均匀性：厚度分布，区域厚差，边缘厚度变化，中心厚度变化，面内厚度一致性。

5.表面粗糙形貌：表面微观起伏，平均粗糙程度，峰谷高度，轮廓波动，纹理均匀性。

6.薄膜层平整性：沉积层表面平整度，薄膜厚度均匀性，多层结构起伏，覆层连续性，膜层界面平整状态。

7.图形化区域平面状态：线路区域高度差，沟槽区域平整性，凸点区域起伏，图形边界形貌，密集区表面均匀性。

8.基板表面形貌：衬底平面度，抛光面一致性，表层缺陷起伏，基底高度分布，表面微变形。

9.封装载体平整性：封装基板平整度，贴装面起伏，共面性偏差，载体翘曲，焊接区域平面状态。

10.热处理后平整度变化：热循环后翘曲变化，加热后形貌偏移，冷却后平整恢复性，热应力引起起伏，热历史影响评估。

11.加工前后对比分析：切割前后平整差异，研磨前后高度变化，抛光前后表面改善情况，蚀刻后形貌变化，清洗后表面状态。

12.缺陷相关形貌分析：凹坑高度差，凸起缺陷分布，划痕深度影响，颗粒附着引起起伏，局部异常区域识别。

检测范围

硅晶圆、化合物半导体晶圆、外延片、抛光晶圆、减薄晶圆、绝缘基板、蓝宝石基板、碳化硅基板、氮化镓基板、薄膜沉积片、多层结构片、光刻后晶圆、蚀刻后晶圆、金属化晶圆、封装基板、载板、芯片裸片、切割片、研磨片、抛光片

检测设备

1.光学轮廓仪：用于测量样品表面三维形貌、高度差及区域起伏，适合开展非接触式平整度分析。

2.白光干涉仪：用于获取高分辨表面高度信息，可分析微小起伏、局部平坦度及表面形貌变化。

3.激光共聚焦显微镜：用于观察微区表面结构和高度分布，适合复杂区域的局部平整性测量。

4.表面轮廓测量仪：用于测定表面轮廓曲线、台阶高度及峰谷变化，可评估粗糙形貌与平面状态。

5.原子力显微镜：用于分析纳米尺度表面起伏与微观粗糙特征，适用于高精度局部形貌检测。

6.厚度测量仪：用于测量样品厚度及面内分布情况，可辅助评价厚度均匀性与整体平整水平。

7.翘曲测量仪：用于评估晶圆或基板的弯曲程度、弓形变形及整体翘曲状态。

8.高精度显微成像系统：用于识别表面异常区域、缺陷形貌及局部高度变化，辅助平整度异常分析。

9.三维形貌测量系统：用于建立样品表面高度分布模型，可开展全区域平整性和共面性评估。

10.恒温测量平台：用于控制检测过程中的温度条件，降低热漂移对平整度与形貌测量结果的影响。