1.缺陷能级浓度:测量范围110⁰~110⁶cm⁻,分辨率5%
2.载流子捕获截面:分析电子/空穴捕获截面σₙ/σₚ(10⁻⁴~10⁻⁶cm)
3.激活能测定:温度范围80-500K,精度0.02eV
4.陷阱密度分布:空间分辨率≤0.1μm,能量分辨率0.03eV
5.复合寿命测试:时间分辨率1ns-10s,误差3%
1.半导体材料:硅(Si)、砷化镓(GaAs)、氮化镓(GaN)等单晶/多晶材料
2.光伏器件:PERC电池、HJT异质结组件、钙钛矿薄膜
3.功率电子器件:IGBT模块、SiCMOSFET晶圆
4.光电探测器:InGaAs红外传感器、HgCdTe焦平面阵列
5.储能材料:锂离子电池正极材料(NCM/LFP)、固态电解质膜
ASTMF42-19:半导体深能级瞬态谱(DLTS)标准测试规程
ISO18552:2017:光伏材料缺陷态密度热激电流法(TSC)
GB/T35032-2018:宽禁带半导体深能级瞬态傅里叶谱测试规范
IEC62805-2:2020:光伏器件载流子寿命微波光电导衰减(μ-PCD)法
GB/T39143-2020:功率电子器件热激电容(TSCAP)测试方法
1.深能级瞬态谱仪DLTS-8000:分辨率0.01eV,温度扫描范围77-700K
2.热激电流测试系统TSC-200:电流灵敏度1fA,控温精度0.1K
3.微波光电导仪μ-PCD-EX3:载流子寿命测量范围10ns-10ms
4.傅里叶变换DLTS系统FT-DLTSPro:频率范围1mHz-10MHz
5.低温探针台CPX-VF:真空度≤510⁻⁶Torr,磁场强度0-1T可调
6.光致发光谱仪PL-QE6500:光谱分辨率0.05nm,低温至4K测试能力
7.电容电压测试仪CV-IVPro:频率范围1kHz-10MHz,电压偏置100V
8.瞬态吸收光谱仪TAS-HP300:时间分辨率200fs,波长范围250-2500nm
9.原子探针层析仪LEAP5000XR:三维原子尺度缺陷分析
10.扫描隧道显微镜STM-Nano4:表面态密度测量精度0.01eV⁻cm⁻
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
以上是与捕获能级检测相关的简单介绍,具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。