检测项目

有效孔径测量：通光口径＞100mm公差0.1mm

曲率半径精度：球面/非球面轮廓偏差≤0.05μm

透射波前误差：PV值＜λ/4（@632.8nm），RMS＜λ/20

表面粗糙度：Ra≤0.5nm（局部区域≤1nm）

镀膜均匀性：反射率波动＜0.5%（400-700nm波段）

环境稳定性：温度循环（-40℃~+85℃）后形变量＜0.02mm

检测范围

天文望远镜主镜/副镜组件（直径200-1000mm）

高分辨率显微物镜（NA≥0.9）

工业级激光聚焦镜头（波长范围193-1064nm）

航天遥感相机光学系统（抗辐射镀膜型）

医疗内窥镜物镜组（直径3-10mm超小口径）

检测方法

ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷评定

ISO14999-4:2015干涉法波前误差测量

ASTME903-20光谱反射率/透射率测试

GB/T2831-2009光学零件曲率半径测试方法

GB/T7661-2009光学零件表面粗糙度接触式测量

MIL-STD-810H环境适应性试验程序

检测设备

ZygoVerifire™HDX激光干涉仪：波长632.8nm，波前分辨率λ/1000

TaylorHobsonPGIOptics轮廓仪：曲率半径测量精度0.01μm

BrukerContourGT-X3白光干涉仪：表面粗糙度测量范围0.1nm-10μm

SpectralProductsDK242积分球光谱仪：镀膜均匀性分析精度0.1%

TRIOPTicsOptiCentric双轴对准系统：光轴偏心量测量精度1μm

EspecPL-3K环境试验箱：温控精度0.5℃，湿度控制2%RH

CMMLeitzPMM-F30.20.16三坐标测量机：空间定位精度0.6+L/400μm

SUSSMicroTecAPS200掩模对准仪：微结构对准精度0.25μm