检测项目

1.扫描精度测试：测量X/Y轴定位偏差值（0.1μm）与重复定位精度（≤0.05μm）

2.束流稳定性验证：连续工作8小时期间束流波动范围（≤0.5%）

3.聚焦性能评估：电子束斑直径测量（1nm-10μm可调范围）

4.真空系统密封性：腔体泄漏率测试（≤110⁻⁹mbarL/s）

5.电磁兼容性测试：30MHz-6GHz频段辐射干扰强度（≤30dBμV/m）

检测范围

1.半导体晶圆表面处理设备

2.金属增材制造电子枪组件

3.高分辨率电子显微镜光学系统

4.航天用耐辐射涂层加工装置

5.医用放射性同位素生产设备

检测方法

ASTME2730-20电子束系统性能表征标准

ISO14706:2019表面化学分析-电子能谱仪束斑尺寸测定

GB/T23414-2021微束分析仪器通用规范

GB/T28872-2012扫描电镜能谱仪分析方法通则

IEC61340-4-7:2017静电放电敏感器件测试规程

检测设备

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与电子束扫描器检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。