检测项目
1. 平面度误差:采用激光干涉法测量,允许偏差≤0.05μm(500mm长度基准)
2. 平行度公差:双频激光干涉仪检测上下工作面平行性,极限值±0.1μm/m
3. 尺寸稳定性:恒温条件下年变化量≤±0.02μm(参照ISO 3650:1998)
4. 表面粗糙度:白光干涉仪Ra值≤0.01μm(GB/T 1031-2009)
5. 维氏硬度:显微硬度计测试HV≥800(载荷1kgf)
6. 热膨胀系数:热机械分析仪测定20-25℃区间α≤11.5×10⁻⁶/℃
检测范围
1. 合金工具钢块规:CrWMn/9CrWMn材质制件(HRA 82-85)
2. 陶瓷量块:氧化锆/碳化硅基精密陶瓷元件
3. 硬质合金量具:WC-Co系超硬合金研磨件
4. 不锈钢基准块:316L/440C耐蚀钢制校准模块
5. 碳化钨标准器:晶粒度≤0.5μm的纳米结构量块
6. 石英玻璃基准件:低膨胀系数光学级校准模块
检测方法
1. ISO 3650:1998《几何量技术规范(GPS)-长度标准-块规》
2. GB/T 6093-2023《几何量技术规范 长度标准 钢制量块》
3. ASTM E2309-23《Standard Practice for Verification of Constant Temperature Devices》
4. JJG 146-2022《量块检定规程》
5. DIN 861-2018《Parallel end standards (gauge blocks) - Technical delivery conditions》
6. ISO/IEC GUIDE 98-3:2008《测量不确定度表示指南》
检测设备
1. Mitutoyo ML10激光干涉仪:分辨率0.001μm的绝对测距系统
2. Taylor Hobson Talysurf CCI Lite白光干涉仪:垂直分辨率0.01nm
3. Hexagon Global Advantage三坐标测量机:空间精度(1.9+L/250)μm
4. ZEISS O-INSPECT复合式测量机:光学+接触式复合探头系统
5. Keysight N6781A高稳电源:电流波动≤10ppm的恒温控制模块
6. Instron Wilson Tukon 2500显微硬度计:载荷分辨率0.01gf
7 Netzsch DIL 402 Expedis Classic热膨胀仪:温度稳定性±0.1℃
8 Agilent 5530动态校准仪:双频激光波长稳定性±0.02ppm
9 Mahr Federal Millimar C1216电子比较仪:示值误差±0.03μm
10 Wyler Zerotronic电子水平仪:角度分辨率0.001arcsec