检测项目
1. 几何量参数:长度(0.1μm~1000mm)、角度(±0.5″~±30′)、表面粗糙度(Ra 0.01~25μm)
2. 热学参数:温度(-196℃~3000℃)、热流密度(0.1~500kW/m²)
3. 力学参数:质量(1mg~5000kg)、压力(0.1Pa~100MPa)、扭矩(0.1N·m~50kN·m)
4. 电磁参数:电压(1μV~100kV)、电流(10nA~100kA)、电阻(1mΩ~10GΩ)
5. 时间频率参数:时间间隔(1ns~100s)、频率稳定度(1×10⁻¹²/d)
检测范围
1. 长度计量器具:量块、千分尺、激光干涉仪
2. 热工仪表:热电偶、红外测温仪、恒温槽
3. 力学测量设备:天平材料试验机、压力传感器
4. 电学标准器:数字万用表、标准电阻箱
5. 时间频率基准:原子钟、频率计数器
检测方法
1. 几何量校准:依据ISO 3650《几何量测量器具验收规范》与GB/T 6093《量块》进行比对测量
2. 温度标定:采用ASTM E77《温度计验证规程》和GB/T 11158《高温试验箱技术条件》
3. 压力测试:执行ISO 6781《压力传感器校准方法》及GB/T 1226《一般压力表》
4. 电学参数验证:参照IEC 60051《直接作用模拟指示电测量仪表》与GB/T 13978《数字仪表通用规范》
5. 时间频率溯源:按照JJF 1180《时间频率计量器具检定系统表》进行原子时标比对
检测设备
1. 高精度激光干涉仪(Renishaw XL-80):分辨率0.001μm,最大测量距离80m
2. 三坐标测量机(Zeiss ACCURA II):空间精度(1.9+L/250)μm
3. 多功能校准炉(Fluke 9144):温场均匀性±0.05℃,温度范围-45℃~1400℃
4. 扭矩标准机(HBM T40WN):量程50N·m~10kN·m,不确定度≤0.05%
5. 八位半数字表(Keysight 3458A):基本DCV精度±0.0006%,采样率100k/s
6. 原子频率标准(Symmetricom CsIII):日稳定度5×10⁻¹³
7. 表面粗糙度仪(Mitutoyo SJ-410):测量范围Ra 0.01~50μm
8. 质量比较仪(Sartorius CC10000):最大载荷10kg,分辨率0.1mg
9. 气体活塞压力计(DH Instruments PPC4):压力范围3kPa~175MPa
10. 振动校准系统(B&K 3945C):频率范围0.1Hz~20kHz,加速度峰值100g