检测项目

1.放电电流稳定性：测量范围0.1-10mA，波动率≤1.5%

2.气体流量控制精度：氩气/氮气流量0.5-50sccm，误差≤0.8%FS

3.离子束能量分布：能量范围50-5000eV，半高宽≤8%

4.真空系统泄漏率：极限真空度≤510 ^-7 Pa，升压率≤310 ^-4 PaL/s

5.阴极寿命测试：连续运行1000小时电子发射衰减≤15%

检测范围

1.半导体晶圆溅射镀膜用离子源系统

2.分析仪器用高纯度离子发生装置（如TOF-SIMS）

3.航天器件表面改性处理设备

4.光伏薄膜沉积系统核心组件

5.金属氮化物硬质涂层生产设备

检测方法

ASTMF1711-08《StandardTestMethodforHumid-DryCyclingforCoatings》评估环境适应性

ISO14606:2015《表面化学分析-溅射深度剖面分析》规范离子束均匀性测试

GB/T28892-2012《表面化学分析二次离子质谱强度标的重复性和一致性》规定质谱校准流程

IEC62303:2008《辐射防护仪器-氡及氡子体测量仪》指导放射性安全测试

GB/T13384-2008《真空技术图形符号》规范真空系统图示标准

检测设备

1.Agilent6545Q-TOFLC/MS：高分辨质谱分析离子成分纯度

2.KeysightB2912A精密源表：测量微安级放电电流稳定性

3.PfeifferHIPACE700分子泵组：实现超高真空环境模拟

4.KLATencorP-17Profiler：三维形貌分析溅射均匀性

5.ThermoFisheriCAPRQICP-MS：痕量金属污染检测

6.MKS1179C真空计组：10 ^-7 -10 ³ Pa全量程压力监测

7.Keithley2450SourceMeter：脉冲模式阴极特性测试

8.BrukerD8ADVANCEXRD：晶体结构损伤评估

9.INFICONHPG400流量计：气体质量流量闭环控制验证

10.TektronixMSO64B示波器：高频放电波形采集分析

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与彭宁离子源检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。