检测项目

1.同心圆直径偏差：测量四圆直径与标称值的差异范围（0.02μm）

2.折射率均匀性：分析样板径向折射率波动（Δn≤510⁻⁵）

3.中心厚度偏差：验证中心区域厚度公差（0.1μm@25℃）

4.表面粗糙度：评估抛光面Ra值（≤0.5nm@0.08mm采样面积）

5.环间间距精度：测定相邻同心圆间距误差（0.03μm）

检测范围

1.光学玻璃样板：包括BK7、FusedSilica等低膨胀系数材料

2.聚合物薄膜样板：适用于PC、PMMA等透明工程塑料

3.晶体材料样板：涵盖CaF₂、ZnSe等红外光学晶体

4.镀膜元件样板：含AR/HR/DLC等镀层的光学基底

5.光纤预制棒样板：用于通信光纤折射率剖面验证

检测方法

1.ASTME810-15：采用激光干涉法测量同心圆结构参数

2.ISO10110-5:2015：规范光学元件折射率均匀性测试流程

3.GB/T1800.3-2020：规定几何尺寸公差等级与测量条件

4.ISO14997:2012：应用微分干涉法进行表面缺陷分析

5.GB/T11168-2022：基于白光干涉的纳米级粗糙度测量方法

检测设备

1.ZygoVerifireMST干涉仪：波长632.8nm,PV值测量精度λ/100

2.MitutoyoCMM-CrystaApexS坐标机：空间分辨率0.01μm@20℃0.1℃

3.BrukerContourGT-X3轮廓仪：垂直分辨率0.1nm,扫描速度500μm/s

4.ShimadzuAIM-9000红外显微镜：光谱范围2-25μm,空间分辨率5μm

5.OlympusLEXTOLS5000激光共焦显微镜：Z轴重复性1nm,最大倍率10800x

6.Keysight5500AFM原子力显微镜：扫描范围90μm90μm,Z噪声<0.05nm

7.AgilentCary7000分光光度计：折射率测量精度0.0002@589nm

8.TaylorHobsonTalyrond585圆度仪：径向误差0.025μm,转速0.1-60rpm

9.NikonMM-400测量显微镜：物镜NA0.55,CCD像素尺寸3.45μm3.45μm

10.OptoEngineeringTC4系列远心镜头：放大倍率0.3X-4X,景深5mm