1.同心圆直径偏差:测量四圆直径与标称值的差异范围(0.02μm)
2.折射率均匀性:分析样板径向折射率波动(Δn≤510⁻⁵)
3.中心厚度偏差:验证中心区域厚度公差(0.1μm@25℃)
4.表面粗糙度:评估抛光面Ra值(≤0.5nm@0.08mm采样面积)
5.环间间距精度:测定相邻同心圆间距误差(0.03μm)
1.光学玻璃样板:包括BK7、FusedSilica等低膨胀系数材料
2.聚合物薄膜样板:适用于PC、PMMA等透明工程塑料
3.晶体材料样板:涵盖CaF₂、ZnSe等红外光学晶体
4.镀膜元件样板:含AR/HR/DLC等镀层的光学基底
5.光纤预制棒样板:用于通信光纤折射率剖面验证
1.ASTME810-15:采用激光干涉法测量同心圆结构参数
2.ISO10110-5:2015:规范光学元件折射率均匀性测试流程
3.GB/T1800.3-2020:规定几何尺寸公差等级与测量条件
4.ISO14997:2012:应用微分干涉法进行表面缺陷分析
5.GB/T11168-2022:基于白光干涉的纳米级粗糙度测量方法
1.ZygoVerifireMST干涉仪:波长632.8nm,PV值测量精度λ/100
2.MitutoyoCMM-CrystaApexS坐标机:空间分辨率0.01μm@20℃0.1℃
3.BrukerContourGT-X3轮廓仪:垂直分辨率0.1nm,扫描速度500μm/s
4.ShimadzuAIM-9000红外显微镜:光谱范围2-25μm,空间分辨率5μm
5.OlympusLEXTOLS5000激光共焦显微镜:Z轴重复性1nm,最大倍率10800x
6.Keysight5500AFM原子力显微镜:扫描范围90μm90μm,Z噪声<0.05nm
7.AgilentCary7000分光光度计:折射率测量精度0.0002@589nm
8.TaylorHobsonTalyrond585圆度仪:径向误差0.025μm,转速0.1-60rpm
9.NikonMM-400测量显微镜:物镜NA0.55,CCD像素尺寸3.45μm3.45μm
10.OptoEngineeringTC4系列远心镜头:放大倍率0.3X-4X,景深5mm
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
以上是与四同心圆折射率样板检测相关的简单介绍,具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。