检测项目

1.光栅周期精度检测：测量周期误差≤0.1μm
2.槽深均匀性检测：全口径深度偏差＜5%
3.衍射效率测试：一级衍射效率≥85%
4.波前畸变分析：RMS值≤λ/10（λ=632.8nm）
5.基底面形精度：PV值≤0.5μm
6.抗损伤阈值测试：激光耐受功率≥5J/cm（1064nm,10ns）

检测范围

1.石英玻璃基底相位光栅
2.硅基微纳结构衍射元件
3.聚合物薄膜全息光栅
4.金属镀层反射式光栅
5.复合多层介质膜光栅
6.超表面超构光栅器件

检测方法

1.ASTME903-20光谱反射/透射率测试法
2.ISO10110-8:2020光学元件波像差评定
3.GB/T13323-2009激光平面干涉测量法
4.ISO14999-4:2015光学元件面形误差检测
5.GB/T26184-2010衍射效率测试方法
6.ISO11145:2018激光损伤阈值测试规范

检测设备

1.ZygoVerifireMST干涉仪：波前畸变与面形测量（精度0.1nm）
2.VeecoNT9800轮廓仪：三维微结构形貌分析（垂直分辨率0.01nm）
3.ShimadzuUV-3600iPlus分光光度计：200-2500nm光谱响应测试
4.RenishawinViaQontor拉曼光谱仪：材料应力与晶体结构分析
5.KeysightN1076A相位分析模块：40GHz高频相位响应测试
6.CoherentMasterOscillator激光损伤测试系统：最高100J/cm能量密度测试
7.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜：亚微米级结构成像
8.Agilent5500原子力显微镜：纳米级表面粗糙度测量
9.TriopticsMTF测量仪：调制传递函数分析（空间频率达500lp/mm）
10.OptoTestOPCT-2500偏振特性测试系统：消光比＞40dB