检测项目
1.光学分辨率:MTF(调制传递函数)≥0.6@50lp/mm
2.透射率偏差:可见光波段(400-700nm)允差1.5%
3.波前像差:RMS值≤λ/20(λ=632.8nm)
4.机械轴系跳动量:径向跳动≤0.5μm/360
5.温度稳定性:-20℃~+50℃环境下焦距变化≤0.02%
检测范围
1.光学玻璃元件:包括透镜、棱镜等折射元件
2.镀膜光学器件:AR/IR/Metalcoating膜层性能验证
3.精密机械结构体:导轨、轴承等运动部件
4.光电传感器组件:CCD/CMOS像面平整度检测
5.高分子光学材料:PC/PMMA塑料透镜透光率测试
检测方法
1.ASTME903-12:分光光度法测定透射/反射率
2.ISO10110-5:2015:光学元件表面缺陷等级评定
3.GB/T10988-2009:光学系统偏心测量规范
4.ISO14999-4:2015:干涉法波前分析技术规程
5.GB/T9246-2008:光学仪器环境试验方法
检测设备
1.ZygoVerifire™MST激光干涉仪:波长632.8nm,精度λ/1000
2.ShimadzuUV-3600Plus分光光度计:波长范围185-3300nm
3.MitutoyoSURFPAKSJ-410轮廓仪:纵向分辨率0.1μm
4.TriopticsOptiCentric双光路中心仪:测量精度1μm
5.OphirSpiriconSP928光束分析仪:CCD分辨率19201080
6.Keysight5530动态校准仪:线性测量精度0.1ppm
7.BrukerContourGT-K光学轮廓仪:垂直分辨率0.1nm
8.NewportM-UTM高低温试验箱:温控范围-70℃~+180℃
9.RenishawXL-80激光干涉系统:线性测量精度0.5ppm
10.ThorlabsPAX1000偏振分析仪:波长范围400-1700nm