检测项目

1.表面反射率：测定250-2500nm波长范围内的镜面反射率（5入射角），精度0.5%

2.膜层厚度：测量范围50nm-10μm，分辨率达1nm（依据ISO1463标准）

3.折射率分布：分析多层膜折射率梯度（n=1.3-4.0），空间分辨率≤5μm

4.散射损耗：量化表面粗糙度引起的散射（Ra≤0.5nm），测试频率632.8nm

5.热稳定性：评估-50℃至300℃温度循环下的反射特性变化（ΔR≤2%）

检测范围

1.光学薄膜：包括增透膜、分光膜、高反膜等镀层结构

2.半导体材料：硅基/砷化镓晶圆表面钝化层及金属互联层

3.金属镀层：真空镀铝/银镜面反射膜（厚度50-500nm）

4.玻璃基板：显示面板ITO导电膜及AR涂层

5.高分子材料：PET/PC基材功能涂层的光学性能验证

检测方法

ASTME903-20：采用积分球法测定材料漫反射与镜面反射特性

ISO13696:2002：激光散射法测量光学元件表面散射损耗

GB/T26331-2010：椭圆偏振法测定薄膜厚度及光学常数

ISO14706:2014：X射线反射法分析超薄膜层密度及界面粗糙度

GB/T22453-2008：紫外可见近红外分光光度计法测定光谱反射率

检测设备

1.PerkinElmerLambda1050双光束分光光度计：波长范围175-3300nm，配备150mm积分球

2.J.A.WoollamM-2000V型椭圆偏振仪：光谱范围245-1700nm，膜厚测量精度0.1nm

3.BrukerD8DiscoverX射线反射仪：CuKα辐射源（λ=0.154nm），角度分辨率0.001

4.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜：405nm激光光源，垂直分辨率1nm

5.ThermoFisherNicoletiS50FTIR光谱仪：扩展至25μm中红外波段检测能力

6.ZygoNewView9000白光干涉仪：1垂直分辨率，用于纳米级表面形貌分析

7.Agilent5500原子力显微镜：接触模式分辨率0.1nm，表征微观粗糙度

8.ShimadzuUV-3600Plus分光光度计：带绝对反射附件，支持5-80变角测量

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与前积反射结构检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。