欢迎访问北检(北京)检测技术研究院!全国服务热线:400-635-0567
Logo

偏光反射法测试

  • 原创官网
  • 2025-06-08 11:01:38
  • 关键字:北检研究院,偏光反射法测试

相关:

概述:偏光反射法测试是基于偏振光与材料表面相互作用的无损检测技术,核心检测对象为材料光学各向异性特性。通过分析反射光偏振态变化,量化表征表面应力分布、薄膜厚度(精度±0.1nm)及微观结构缺陷。关键检测项目包括椭偏参数Ψ/Δ值、相位延迟量、双折射率分布及反射率谱,适用于纳米级薄膜和微结构器件的质量监控。

便捷导航:首页 > 服务项目 > 其他检测

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情,因时间等不可抗拒因素会发生变更,请咨询在线工程师。

☌ 询价

检测项目

光学性能参数:

  • 椭偏参数测量:Ψ角(0°-90°)、Δ角(0°-360°)
  • 反射率谱分析:250-2500nm波长范围(参照ISO14782)
  • 相位延迟量:精度±0.01°(适用λ=632.8nm)
应力分布检测:
  • 表面残余应力:双折射值(δn≥0.0005)
  • 应力梯度:空间分辨率≤1μm(参照ASTMF218)
薄膜特性:
  • 膜厚测量:SiO₂膜0.1-10μm(误差±0.1nm)
  • 折射率检测:n/k值(范围1.3-5.0)
缺陷分析:
  • 微裂纹识别:灵敏度≥0.5μm
  • 界面分层:检测深度0-200μm
晶体结构:
  • 晶向偏差:角度分辨率±0.1°
  • 晶格畸变:应变值ε≥0.01%
涂层性能:
  • 厚度均匀性:面内偏差≤±2%
  • 附着力评估:临界载荷Lc≥5N
半导体参数:
  • 载流子浓度:1014-1018cm⁻³范围
  • 掺杂分布:梯度分辨率5nm/decade
光学元件:
  • 增透膜性能:反射率≤0.5%@550nm
  • 偏振特性:消光比≥1000:1
生物材料:
  • 蛋白质吸附层:厚度0.5-20nm
  • 表面亲水性:接触角θ±1°
聚合物特性:
  • 分子取向度:取向角偏差≤3°
  • 结晶度:Xc值±2%误差

检测范围

1.半导体晶圆:硅/砷化镓衬底,侧重外延层厚度与掺杂均匀性检测

2.光学薄膜:增透/反射/滤光膜系,重点监控膜厚偏差与界面缺陷

3.金属镀层:金/铬/铝薄膜(5-500nm),检测应力诱发翘曲及附着力

4.液晶面板:ITO导电层与配向膜,分析取向一致性与厚度均匀性

5.MEMS器件:微结构悬臂梁,检测残余应力分布与形变

6.光伏材料:非晶硅/钙钛矿薄膜,评估光吸收层厚度与结晶质量

7.医疗植入体:羟基磷灰石涂层,监控生物活性层厚度与孔隙率

8.磁记录介质:钴铬钽合金薄膜,检测磁各向异性与晶粒尺寸

9.光纤器件:布拉格光栅,分析折射率调制深度

10.聚合物薄膜:PET/PC基材,检测分子取向与双折射分布

检测方法

国际标准:

  • ASTMF218-20硅片应力测量标准方法
  • ISO14782:2021透明材料雾度与反射率测定
  • JISK7136:2018塑料薄膜双折射检测
国家标准:
  • GB/T37396.1-2019激光器光学薄膜检测方法
  • GB/T30212-2013液晶显示器件光学测试
  • GB/T34879-2017微机电系统(MEMS)薄膜机械性能测试(与ASTM差异:加载速率要求不同)

检测设备

1.光谱椭偏仪:M-2000DI型(波长范围190-1700nm,入射角40-90°可调)

2.激光反射仪:SENTECHSE850(632.8nm激光源,光斑尺寸10μm)

3.穆勒矩阵测量系统:HindsInstrumentsMM-16(16通道同步检测)

4.纳米膜厚仪:FilmetricsF40(厚度范围0.1nm-500μm)

5.显微偏振系统:OlympusBX-POL(分辨率0.5μm,10×-100×物镜)

6.相位调制椭偏仪:J.A.WoollamRC2(50kHz调制频率)

7.低温测试平台:LinkamT95(温度范围-196°C~600°C)

8.自动样品台:KohzuPrecisionSC300(位移精度±0.1μm)

9.飞秒激光源:Spectra-PhysicsMaiTai(波长690-1040nm,脉宽<100fs)

10.共聚焦显微镜:ZeissLSM900(Z轴分辨率1nm)

11.红外椭偏组件:BrukerVertex80v(2.5-25μm波段)

12.应力分布成像仪:StressPhotonicsSCALP-04(空间分辨率1μm)

13.同步旋转分析器:HORIBAAutoSE(转速0.1-10rps)

14.真空样品舱:PREVACRP100(真空度10⁻⁶mbar)

15.多角度探测系统:AngstromAdvancedRAP-1(角度范围

北检(北京)检测技术研究院【简称:北检院】

报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期:7~15工作日,可加急。

资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试:支持定制化试验方案。

售后:报告终身可查,工程师1v1服务。

以上是与"偏光反射法测试"相关的简单介绍,具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。

    材料检测服务

    专业分析各类金属、非金属材料的成分、结构与性能,提供全面检测报告和解决方案。包括金属材料力学性能测试、高分子材料老化试验、复合材料界面分析等。

    化工产品分析

    精准检测各类化工产品的成分、纯度及物理化学性质,确保产品质量符合国家标准。服务涵盖有机溶剂分析、催化剂表征、高分子材料分子量测定等。

    环境检测服务

    提供土壤、水质、气体等环境检测服务,助力环境保护与污染治理,共建绿色家园。包括VOCs检测、重金属污染分析、水质生物毒性测试等。

    科研检测认证

    凭借专业团队和先进设备,致力于为企业研发、质量控制及市场准入提供精准可靠的技术支撑,助力品质提升与合规发展。