检测项目
1.线性度误差：全量程范围内实测值与理论值的最大偏差≤0.05%FS
2.重复性精度：连续10次测量标准差≤0.002mm
3.温度漂移系数：-20℃~80℃温域内输出变化率≤0.005%/℃
4.响应时间：阶跃信号达到90%稳态值耗时≤3ms
5.绝缘电阻：500VDC测试电压下≥100MΩ
检测范围
1.金属材料：碳钢/不锈钢/铝合金等导电基体表面位移测量
2.复合材料：碳纤维/玻璃纤维层压板形变监测
3.汽车零部件：变速箱齿轮啮合间隙动态检测
4.精密导轨：直线电机运动平台定位精度验证
5.橡胶制品：轮胎胎面磨损量非接触式测量
检测方法
1.ASTME2309-2020非接触式位移传感器温度特性测试规程
2.ISO16063-21:2021振动与冲击传感器校准方法
3.GB/T18459-2023传感器环境适应性试验规范
4.IEC61000-4-3:2020电磁兼容辐射抗扰度测试
5.JJF1308-2020线位移传感器校准规范
检测设备
1.Keysight34972A数据采集器：支持32通道同步采样（16bit/1MSa/s）
2.MTSSystemsCriterion万能试验机：载荷范围25kN/位移分辨率0.1μm
3.Fluke6105A温度校准炉：温控精度0.1℃（-40~150℃）
4.OGPSmartScopeFlash500影像测量仪：XYZ轴重复精度1μm+3L/1000
5.Bruel&Kjaer3053-B-040振动台：频率范围5Hz~10kHz/加速度20g峰峰值
6.Chroma19032耐压测试仪：输出电压0~5kVAC/DC
7.TektronixMDO3104示波器：带宽1GHz/采样率5GSa/s
8.MitutoyoLH-600激光干涉仪：线性测量精度0.5ppm
9.ESPECSH-642恒温恒湿箱：温控范围-70℃~150℃/湿度10%~98%RH
10.EMTESTUCS500N静电放电发生器：接触放电电压30kV/空气放电电压32kV