石英套管透光率检测

可送检的样品类型与对应检测项目

检测项目

1. 可见光透射比：380~780nm波段平均透光率，双面抛光、厚度2~5mm的透明石英套管典型值不低于90%~94%（协议口径），是观感评价与曝光效率的基础指标

2. 紫外透射比：254nm、185nm特征波长单点透射比，紫外灯用石英套管254nm典型要求85%~92%（协议口径），高纯合成料在185nm深紫外段仍可保持较高透过

3. 红外透射比：2.73μm羟基特征峰及2600~2800nm波段透过能力，低羟基石英套管峰高可控制在5%以内（协议口径），与羟基含量联动评价

4. 光谱透射比曲线：180~3000nm全谱段扫描，步长1~5nm，按GB/T 43892-2024计算各波长透射比，同批复测偏差典型优于0.5%（协议口径）

5. 雾度与前向散射：积分球采集透过石英套管后偏离入射方向的散射通量占比，透明管材典型不超过0.5%~2%（协议口径），反映表面粗糙度与内部缺陷水平

检测范围

1. 半导体炉管石英套管：直通式、闭口式套管，外径20~500mm，壁厚1.5~8mm（协议口径）

2. 紫外灯用透明石英套管：外径8~60mm透明石英玻璃管及法兰套环

3. 光纤拉丝用石英玻璃把持管：按GB/T 33237-2016分类的把持管及配套套管

4. 光刻用石英玻璃晶圆与掺钛石英玻璃：按GB/T 34177-2017、GB/T 45826-2025分类

5. 光掩模石英玻璃基板、高纯不透明石英玻璃制品与实验室石英器皿观察窗

检测方法

1. GB/T 43892-2024 石英玻璃光谱透射比试验方法（主线方法，2024年11月1日实施）

2. GB/T 2680-2021 建筑玻璃可见光透射比等参数的测定（积分球法与可见区加权计算参照，代替1994版）

3. GB/T 7962.12-2010 无色光学玻璃测试方法 第12部分：光谱内透射比（光学级试样参照）

4. GB/T 12442-2019 石英玻璃中羟基含量检验方法（红外吸收法，关联红外透过评价）

5. GB/T 5949-2014 透明石英玻璃气泡、气线试验方法（散射损失与外观缺陷归因）

检测设备

1. 双光束紫外-可见-近红外分光光度计（UV-3600系列）：波长范围185~3300nm，双单色器结构，波长准确度±0.2nm

2. 双光束紫外可见分光光度计（UV-2600系列）：波长范围190~1400nm，光谱带宽0.1~5nm可调

3. 紫外-可见-近红外分光光度计（Lambda 1050系列）：波长范围175~3300nm，全息光栅双光路设计

4. 积分球附件：内径60~150mm，配光电倍增管与InGaAs双探测器，收集前向散射光并平滑基线

5. 雾度透光率测定仪（WGT-S型）：透射比量程0~100%，雾度分辨率0.01%，积分球原理快速测量

6. 傅里叶变换红外光谱仪（Nicolet系列）：波数范围400~7800cm⁻¹，测定2.73μm羟基特征吸收

7. X射线荧光光谱仪：铁、铜等杂质元素快速筛查，检出限约0.01%量级

8. 电感耦合等离子体发射光谱仪：碱金属与过渡金属痕量定量，检出限μg/L级

9. 试样夹具与厚度千分尺：分辨率0.001mm，控制石英套管切片厚度与光程一致性

10. 标准光源箱（D65光源）：目视比对透过观感，辅助外观缺陷分级