石英玻璃条纹度测试

可送检的样品类型与对应检测项目

检测项目

1. 条纹度评定：采用浸液投影原理，抛光试样置于折射率匹配的浸液中，平行光束将内部条纹影像投射于投影屏，与参照条纹对比分级，光学级石英玻璃按可见条纹的允许程度分等验收（协议口径）

2. 光学均匀性：以折射率不均匀度Δn表征，光学级石英玻璃典型控制在1×10⁻⁵量级以内，优质熔炼料可达1×10⁻⁶量级（协议口径），与条纹分布联动评价波前畸变风险

3. 气泡与气线：按GB/T 5949-2014对点状气泡与线状气线分别检验，典型按0.01~0.5mm尺寸分档计数限量（协议口径），与条纹缺陷明确区分归因

4. 应力双折射：以单位光程光程差表征，退火良好的光学级石英玻璃典型控制在2~10nm/cm以内（协议口径），反映内应力与条纹伴生的光学畸变

5. 光谱透射比（关联归因）：380~780nm可见区平均透光率典型不低于90%~94%（协议口径），与条纹、气泡的散射损失联动，为透过率异常提供缺陷溯源

检测范围

1. 光学级石英玻璃坯料：透镜、棱镜、窗口片用料的JGS1、JGS2、JGS3分级（分别对应远紫外、紫外可见、红外应用波段）

2. 光刻用石英玻璃晶圆与掺钛石英玻璃：按GB/T 34177-2017、GB/T 45826-2025分类的半导体光刻基材

3. 光掩模石英玻璃基板：按GB/T 34178-2017分类的曝光基板及贴膜基片

4. 光纤拉丝用石英玻璃把持管：按GB/T 33237-2016分类的把持管与配套套管

5. 半导体炉管石英套管、紫外灯用透明石英玻璃管、观察窗视镜与石英舟托等制品

检测方法

1. GB/T 7962.7-2025 无色光学玻璃测试方法 第7部分：条纹度（石英玻璃条纹度测试的主线参照方法，2026年1月1日实施，代替1987版，浸液投影法原理）

2. GB/T 32561.2-2016 红外光学硫系玻璃测试方法 第2部分：条纹度（红外光学材料同类缺陷检验参照）

3. GB/T 903-2019 无色光学玻璃（光学玻璃分类分等与条纹质量要求的产品依据）

4. GB/T 5949-2014 透明石英玻璃气泡、气线试验方法（点状与线状缺陷的区分检验）

5. GB/T 3284-2015 石英玻璃化学成分分析方法（条纹区与本体成分差异的归因分析）

检测设备

1. 投影式条纹检查仪（条纹仪）：配平行光路与投影屏，投影屏有效直径300~500mm（协议口径），石英玻璃条纹度测试的主机设备

2. 数字波面干涉仪：氦氖激光光源632.8nm，波面PV值测量精度优于λ/100，测折射率不均匀度

3. 双光束紫外可见分光光度计（UV-2600系列）：波长范围190~1400nm，光谱带宽0.1~5nm可调，关联透射比归因

4. 偏光应力检查仪：光程差分辨率约1nm，配1/4波片，定量读取单位光程双折射

5. 读数显微镜：放大倍数20~80倍，最小分度0.01mm，气泡气线尺寸分档测量

6. 体视显微镜：7~45倍连续变倍，条纹与外观缺陷定位取样

7. 浸液槽与折射率匹配液：石英玻璃d线折射率约1.4585，匹配液折射率偏差控制在±0.002以内（协议口径）

8. 平行光管：出射光束口径Φ50~150mm，焦距500~1000mm，提供检验用平行照明

9. 标准条纹参照样品板：与受检条纹影像对比分级的实物基准

10. 恒温水浴：控温20±0.5℃（协议口径），稳定浸液折射率并消除温度漂移